Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas Microeletromecânicos (PSI 5109)
Docente: Gustavo Rehder
1o Perido – 2013
http://gnmd.webgrupos.com.br/ensino.php
Introdução – MEMS Eletrostáticos
MEMS eletrostáticos Dispositivos Comerciais
• DLP – Digital Light Processor
• Acelerômetros
• Giroscópios
• Chaves para RF
DPL – Digital Light Processor
2 milhôes de pixeis para uma resolução de 1920x1080p chaveam até 5000x por segundo