Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas Microeletromecânicos (PSI 5109) Docente: Gustavo Rehder 1 o Perido – 2013 http://gnmd.webgrupos.com.br/ensino. php Introdução – MEMS Eletrostáticos
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Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas Microeletromecânicos (PSI 5109)
Docente: Gustavo Rehder
1o Perido – 2013
http://gnmd.webgrupos.com.br/ensino.php
Introdução – MEMS Eletrostáticos
MEMS eletrostáticos Dispositivos Comerciais
• DLP – Digital Light Processor
• Acelerômetros
• Giroscópios
• Chaves para RF
DPL – Digital Light Processor
2 milhôes de pixeis para uma resolução de 1920x1080p chaveam até 5000x por segundo
DPL – Digital Light Processor
Sensores Inerciais • Acelerômetros
Sensores Inerciais • Giroscópios
Chaves RF MEMS
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