Transcript
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
1/37
CVD SSTEMLERYILDIRIM DURMU
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
2/37
CVDKimyasal Buhar Kaplama(CVD) teknii
malzemelerin ine !lm "larak altta#lara $eya%a&erlara kaplanma 'iimiir* Bu kaplamatekniine+ kaynak ,azlar reaksiy"n "a--na.neen $erilir* Daha s"nra uy,ulanan s-akl-k+y/ksek &rekansta y/ksek $"lta0(R1 2lazma)
ya a ier teknikler netiesine kaynak,azlar-n-n ayr-#mas- $e kimyasal reaksiy"nus"nuuna ine !lm "lu#ur*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
3/37
CVD Trleri32CVD 4 3tm"spheri 2ressure CVD
L2CVD 4 L"% 2ressure CVDM5CVD 4 Metal 5r,ani CVD26CVD 4 2lasma 6nhane CVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
4/37
APCVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
5/37
LPCVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
6/37
Vauum an
67haust system
8as hanlesystem
C"mputerC"ntr"l
Reat"r
MOCVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
7/37
MOCVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
8/37
MOCVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
9/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
10/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
11/37
PECVD26CVD(2lasma 6nhane Chemial Vap"ur
Dep"siti"n)9 elektrik ener0isini kullanarak istenen
R1 ,//ne+ 'ir ,az kar-#-m-na ener0i trans&ereer* :rans&er eilen 'u ener0i s"nuuna reakti&raikaller+ iy"nlar + n.tr at"mlar $e y/ksekener0ili ier para-klaran "lu#an 'ir plazma
"lu#ur* 5lu#an 'u at"mik $e m"lek/lerpara-klar+ y/zeyle etkile#meye ,irerek y/zeyinyap-s-na 'al- "larak y/zeye a#-n-rma ya ay/zey /zerine kimyasal 'ir ta'aka "lu#turur*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
12/37
PECVDReakti& $e ener0isi y/ksek para-klar ,az&az- ierisineki arp-#malar s"nuuna
,erekle#ir $e 'u kimyasal para-klar 'ellis-akl-klara tutulan alt ta# /zerine i&/zeip y/zeye 'ir kaplama "lu#turur*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
13/37
PECVDPECVD nin dier CVD trlerine greavantajlar:
8eleneksel CVD;ye ,.re aha /#/ks-akl-klara pr"ses "lana- sunar ( kapalamak iin 26CVDihaz-na ?@@4?A@ "C s-akl-k yeterli iken CVDy.ntemine ayn- kalitee !lm /retmek iins-akl--n A@4A@"C "lmas- ,erekmekteir)*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
14/37
PECVD1ilm stresi y/ksek/#/k ,az kar-#-m- $e
s-akl-kla k"ntr"l eile'ilir*2lazma ile temizlik yap-la'ilii iin
reakt.r;/n !zikselkimyasal temizlikihtiya-n- azalt-r*2r"ses k"#ullar- ei#tirilerek st"kiy"metri
k"ntr"l eile'ilir*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
15/37
PECVD26CVD ihaz-na altta#+ ener0ileri E eV ileE@@eV aras-na ei#en ener0itik
para-klar tara&-nan '"m'ar-maneiliinen aha y"un $e aha kaliteli!lm '/y/t/le'ilmekteir (Y/zeye ener0itikpara-klar tara&-nan "lu#an t"rtular
'ir'irlerine aha s-k- 'al- "luklar-nan!lm kalitesi e " "rana artm-# "lur)*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
16/37
SO ve Si!"# $a%la&alar:SiO'
=iFG 5>J =i5> > F>L2CVD
?=iFG >5 J ? =i5> G F? G >26CVDSi!"#: ?=iF>Cl>G F?J=i?G FCl F>
L2CVD?=iF
G G F
?J=i
?
G E>F
>26CVD
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
17/37
PECVD (i(te&inin $)llan& &et*d):emizlik #lemi(2lazma $e I23DI =u)
K"#ullama(2lazman-n elektrisel eeri iinyap-l-r)6sas 2r"ses(:/m k"#ullar haz-r-r ):emizlik #lemi(Kaplama s"nras- yap-l-r)
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
18/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
19/37
PECVDSE"TEC PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
20/37
PECVDSE"TEC PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
21/37
PECVDSAMCO PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
22/37
PECVD
SiOSi!"#
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
23/37
PECVD
Si!"#
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
24/37
Si!"# ve SiOnin $ara$teri+a(,*n):
6lips"metre ile kal-nl-k $e k-r-lma inisi.l/m/2r"!l"metre ile kal-nl-k $e stress .l/m/6lektriksel .l/mler(I4V+C4V)
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
25/37
PECVDEli%(*&etre ile l-&:
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
26/37
PECVD 6lips"metre;e p"larize -#-k emeti malzemeenyans-r $e yans-yan -#-n p"larizasy"n urumu iinanaliz eilir* Kutuplanmaaki ei#im ,enlik "ran-
$e &az ei#imi N ile i&ae eilir* 6le eilen $erilerher 'ir malzemenin "ptik .zelliklerine $e .l/len!lmin kal-nl--na 'al--r* 2"larizasy"naki .l/lenei#im malzemenin .zelliklerini "rtaya
-karmakta kullan-l-r*K-r-lma inisi (n) kaplanan !lmin kalitesi
'ak-m-nan "k .nemliir* Kaplanan =i5> $e =i?G!lmlerinin n eerlerli literat/reki eerler ileuyu#mal--r(=i5>O E*G+ =i?GO>*@A)
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
27/37
Kal-nl-k .l/m/ne+ !lmin t/r/ne ,.re.neen 'ir m"el "lu#turulur $e 'u m"eletra&-na sisteme istenen eer ,irilir* Dahas"nra .l/m yap-larak istenen eer ile.l/len eer aras-na !ttin, i#lemi yap-l-r*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
28/37
PECVDSE"TEC. EL/PSOMETRE
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
29/37
PECVDPr*0l*&etre ile l-&: Bu y.nteme+ !lmlerin /zerine uy,un
&"t"rezist kullan-larak &"t"lit",ra! ile maskeyap-l-r* Maskee a-kl-klar kuru a#-n-rmayata'i tutulur* 3-kl-klaraki !lmler a#-n-r-l-rken+&"t"rezistin alt-na 'ulunan !lmler a#-nmaz*B.ylee a#-nm-# !lm y/zeyi ile !lm aras-nay/kseklik &ark- "lur $e 'u &ark .l/l//ne!lmin kal-nl-- 'ulunur*
1ilmin kaplan-- y/zeye 'iren "k .l/m
yap-larak !lmin uni&"rmity;sine 'ak-l-r*
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
30/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
31/37
PECVDVee1* De$ta$ Pr*0l*&etre
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
32/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
33/37
Kaplanan !mlere stress e .nemli 'irparametreir* 1ilmlerin /zerine yap-laaks"nraki pr"ses lere ,.re !lmlerine stress t/r/
'elirlenmeli $e " stress t/r/ne ,.re !lmkaplanmal--r*26CVD sistemlerine ten(ile $e 1*&%re(ive
"lmak /zere > t/r stress $ar-r*
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
34/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
35/37
PECVD
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
36/37
CVD (i(te&lerinin
$ar2la2trl&a(
7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum
37/37
Te2e$$rler
top related