Cvd Ve Cvd Si̇stemleri̇ Sunum

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

1/37

CVD SSTEMLERYILDIRIM DURMU

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

2/37

CVDKimyasal Buhar Kaplama(CVD) teknii

malzemelerin ine !lm "larak altta#lara $eya%a&erlara kaplanma 'iimiir* Bu kaplamatekniine+ kaynak ,azlar reaksiy"n "a--na.neen $erilir* Daha s"nra uy,ulanan s-akl-k+y/ksek &rekansta y/ksek $"lta0(R1 2lazma)

ya a ier teknikler netiesine kaynak,azlar-n-n ayr-#mas- $e kimyasal reaksiy"nus"nuuna ine !lm "lu#ur*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

3/37

CVD Trleri32CVD 4 3tm"spheri 2ressure CVD

L2CVD 4 L"% 2ressure CVDM5CVD 4 Metal 5r,ani CVD26CVD 4 2lasma 6nhane CVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

4/37

APCVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

5/37

LPCVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

6/37

Vauum an

67haust system

8as hanlesystem

C"mputerC"ntr"l

Reat"r

MOCVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

7/37

MOCVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

8/37

MOCVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

9/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

10/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

11/37

PECVD26CVD(2lasma 6nhane Chemial Vap"ur

Dep"siti"n)9 elektrik ener0isini kullanarak istenen

R1 ,//ne+ 'ir ,az kar-#-m-na ener0i trans&ereer* :rans&er eilen 'u ener0i s"nuuna reakti&raikaller+ iy"nlar + n.tr at"mlar $e y/ksekener0ili ier para-klaran "lu#an 'ir plazma

"lu#ur* 5lu#an 'u at"mik $e m"lek/lerpara-klar+ y/zeyle etkile#meye ,irerek y/zeyinyap-s-na 'al- "larak y/zeye a#-n-rma ya ay/zey /zerine kimyasal 'ir ta'aka "lu#turur*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

12/37

PECVDReakti& $e ener0isi y/ksek para-klar ,az&az- ierisineki arp-#malar s"nuuna

,erekle#ir $e 'u kimyasal para-klar 'ellis-akl-klara tutulan alt ta# /zerine i&/zeip y/zeye 'ir kaplama "lu#turur*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

13/37

PECVDPECVD nin dier CVD trlerine greavantajlar:

8eleneksel CVD;ye ,.re aha /#/ks-akl-klara pr"ses "lana- sunar ( kapalamak iin 26CVDihaz-na ?@@4?A@ "C s-akl-k yeterli iken CVDy.ntemine ayn- kalitee !lm /retmek iins-akl--n A@4A@"C "lmas- ,erekmekteir)*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

14/37

PECVD1ilm stresi y/ksek/#/k ,az kar-#-m- $e

s-akl-kla k"ntr"l eile'ilir*2lazma ile temizlik yap-la'ilii iin

reakt.r;/n !zikselkimyasal temizlikihtiya-n- azalt-r*2r"ses k"#ullar- ei#tirilerek st"kiy"metri

k"ntr"l eile'ilir*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

15/37

PECVD26CVD ihaz-na altta#+ ener0ileri E eV ileE@@eV aras-na ei#en ener0itik

para-klar tara&-nan '"m'ar-maneiliinen aha y"un $e aha kaliteli!lm '/y/t/le'ilmekteir (Y/zeye ener0itikpara-klar tara&-nan "lu#an t"rtular

'ir'irlerine aha s-k- 'al- "luklar-nan!lm kalitesi e " "rana artm-# "lur)*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

16/37

SO ve Si!"# $a%la&alar:SiO'

=iFG 5>J =i5> > F>L2CVD

?=iFG >5 J ? =i5> G F? G >26CVDSi!"#: ?=iF>Cl>G F?J=i?G FCl F>

L2CVD?=iF

G G F

?J=i

?

G E>F

>26CVD

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

17/37

PECVD (i(te&inin $)llan& &et*d):emizlik #lemi(2lazma $e I23DI =u)

K"#ullama(2lazman-n elektrisel eeri iinyap-l-r)6sas 2r"ses(:/m k"#ullar haz-r-r ):emizlik #lemi(Kaplama s"nras- yap-l-r)

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

18/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

19/37

PECVDSE"TEC PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

20/37

PECVDSE"TEC PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

21/37

PECVDSAMCO PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

22/37

PECVD

SiOSi!"#

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

23/37

PECVD

Si!"#

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

24/37

Si!"# ve SiOnin $ara$teri+a(,*n):

6lips"metre ile kal-nl-k $e k-r-lma inisi.l/m/2r"!l"metre ile kal-nl-k $e stress .l/m/6lektriksel .l/mler(I4V+C4V)

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

25/37

PECVDEli%(*&etre ile l-&:

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

26/37

PECVD 6lips"metre;e p"larize -#-k emeti malzemeenyans-r $e yans-yan -#-n p"larizasy"n urumu iinanaliz eilir* Kutuplanmaaki ei#im ,enlik "ran-

$e &az ei#imi N ile i&ae eilir* 6le eilen $erilerher 'ir malzemenin "ptik .zelliklerine $e .l/len!lmin kal-nl--na 'al--r* 2"larizasy"naki .l/lenei#im malzemenin .zelliklerini "rtaya

-karmakta kullan-l-r*K-r-lma inisi (n) kaplanan !lmin kalitesi

'ak-m-nan "k .nemliir* Kaplanan =i5> $e =i?G!lmlerinin n eerlerli literat/reki eerler ileuyu#mal--r(=i5>O E*G+ =i?GO>*@A)

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

27/37

Kal-nl-k .l/m/ne+ !lmin t/r/ne ,.re.neen 'ir m"el "lu#turulur $e 'u m"eletra&-na sisteme istenen eer ,irilir* Dahas"nra .l/m yap-larak istenen eer ile.l/len eer aras-na !ttin, i#lemi yap-l-r*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

28/37

PECVDSE"TEC. EL/PSOMETRE

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

29/37

PECVDPr*0l*&etre ile l-&: Bu y.nteme+ !lmlerin /zerine uy,un

&"t"rezist kullan-larak &"t"lit",ra! ile maskeyap-l-r* Maskee a-kl-klar kuru a#-n-rmayata'i tutulur* 3-kl-klaraki !lmler a#-n-r-l-rken+&"t"rezistin alt-na 'ulunan !lmler a#-nmaz*B.ylee a#-nm-# !lm y/zeyi ile !lm aras-nay/kseklik &ark- "lur $e 'u &ark .l/l//ne!lmin kal-nl-- 'ulunur*

1ilmin kaplan-- y/zeye 'iren "k .l/m

yap-larak !lmin uni&"rmity;sine 'ak-l-r*

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

30/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

31/37

PECVDVee1* De$ta$ Pr*0l*&etre

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

32/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

33/37

Kaplanan !mlere stress e .nemli 'irparametreir* 1ilmlerin /zerine yap-laaks"nraki pr"ses lere ,.re !lmlerine stress t/r/

'elirlenmeli $e " stress t/r/ne ,.re !lmkaplanmal--r*26CVD sistemlerine ten(ile $e 1*&%re(ive

"lmak /zere > t/r stress $ar-r*

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

34/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

35/37

PECVD

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

36/37

CVD (i(te&lerinin

$ar2la2trl&a(

7/23/2019 Cvd Ve Cvd Sstemler Sunum

37/37

Te2e$$rler