Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop MIRA 3 XMU (TESCAN, Brno, Tschechien) Allgemeine Informationen: § Feldemissionskathode § Große Probenkammer § Hoch- und Niedrigvakuum-Modus möglich Detektoren: § Abbildende Detektoren § Sekundärelektronen (SE)-Detektor § InBeam-SE-Detektor § Rückstreuelektronen (BSE)-Detektor § Transmissionselektronen (TE)-Detektor § Low-Vakuum SE (LVSTD)-Detektor § Analytische Detektoren § EDAX-TSL Pegasus – TEM EDX & EBSD APOLLO X SDD 10 mm², < 129 eV Zusätzliche Einrichtungen: § In situ Verformungsmodule (Kammrath&Weiss) Kenndaten: • Feldemissionskathode: Schottky-Feldemitter • Auflösung: § Hochvakuum-Modus § Sekundärelektronen (SE)- Detektor: 1.2 nm bei 30 kV 2.5 nm bei 3 kV § In-Beam SE-Detektor: 1.0 nm bei 30 kV 2.0 nm bei 3 kV § Transmissionselektronen (TE)-Detektor: 0.8 nm bei 30 kV § Rückstreuelektronen (BSE)-Detektor: 2 nm bei 30 kV § Niedrig-Vakuum-Modus § LVSTD-Detektor: 1.5 nm bei 30 kV 3 nm bei 3 kV • Vergrößerung: 1-fach bis 1.000.000-fach • Maximales Sichtfeld: 20 mm bei Arbeitsabstand 30 mm • Beschleunigungsspannung: 200 V bis 30 kV • Strahlstrom: 2 pA bis 200 nA • Elektronenoptik Arbeitsmodi: Resolution – Hochauflösungsmodus Depth – Modus mit erhöhter Tiefenschärfe Field – Vergrößertes, verzerrungsfreies Sichtfeld Wide Field – Extra großes, verzerrungsfreies Sichtfeld bei kleinst möglicher Vergrößerung Channelling – Erzeugung von Electron channelling pattern (ECP) • Vakuumsystem: § Kammer Vakuum: Hoch-Vakuum Modus: < 5 × 10 -4 Pa Niedrig-Vakuum Modus: 7 – 500 Pa § Kathoden-Vakuum: < 3 × 10 -7 Pa § Pumpzeiten nach Probenwechsel: < 3.5 min • Kammer: 300 × 300 × 330 mm (Türöffnung: 280 × 330 mm) Aktive Schwinungsdämpfung • Probentisch: compuzentrisch, vollmotorisiert X = 130 mm (–50 mm to +80 mm); Y = 130 mm (–65 mm to +65 mm); Z = 100 mm Rotation: 360° kontinuierlich Tilt: –30° bis +90°