YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ 排気量に合わせて 4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 ৠணɺεύολϦϯάɺΠΦϯϓϨʔςΟϯά ਅแɺਅٵணɺਅ ܗਅॲཧɺমɺΖ ਅס૩ɺౚס૩ɺਅ ؾΨεஔɺరɺਅஅɺϦʔΫςετஔ΄ ๛ͳϥΠϯΞοϓ ഉؾʹ߹ΘϙϯϓબఆͰΔΑɺ4 छͷՍϢχοτ Λ༻ҙ·ɻ ༏Εϝϯςφϯε ϝΧχΧϧϒʔελʔϙϯϓʗ༉ճసਅϙϯϓͷՍಠ ΔΊɺ༉ճసਅϙϯϓϝϯςφϯεΛߦ߹ ɺஔଆͷϝΠϯΛऔΓ֎ඞཁͳɺۀ࡞༰қʹ ߦ·ɻ ๛ͳΦϓγϣϯ ΦΠϧϛεττϥοϓେؾѹۦಈܕʢΠϯόʔλʣɾޚ൫ɾ Ԇਅ࣓หɾ٫ਫϑϩʔεΠονͳͲબఆͰ·ɻ ಛ ༻ メカニカルブースターポンプ用 架台ユニット 【YMV シリーズ】 ՍϢχοτɿ YMV-06A ϝΧχΧϧϒʔελʔϙϯϓɿPMB600D ʢਪϙϯϓɿผखʣ ༉ճసਅϙϯϓɿ VD901 ʢਪϙϯϓɿผखʣ ΦΠϧϛεττϥοϓɿ TM401 ʢΦϓγϣϯɿผखʣ 低真空ポンプ 低真空 ポンプ
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YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて 4 種類の架台ユニットを用意しました。ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。
蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
真空包装、真空吸着、真空成形
真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉
真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
ガス置換、充填、真空断熱、リークテスト装置ほか
豊富なラインアップ 排気量に合わせたポンプ選定ができるよう、4種類の架台ユニットを用意しました。
優れたメンテナンス性 メカニカルブースターポンプ／油回転真空ポンプの架台が独立しているため、油回転真空ポンプだけメンテナンスを行う場合は、装置側のメイン配管を取り外す必要もなく、作業が容易に行えます。
豊富なオプション オイルミストトラップや大気圧駆動型（インバータ）・制御盤・遅延真空電磁弁・冷却水フロースイッチなどが選定できます。
特 長 用 途
メカニカルブースターポンプ用 架台ユニット【YMV シリーズ】
架台ユニット： YMV-06Aメカニカルブースターポンプ： PMB600D（推奨ポンプ：別手配）油回転真空ポンプ： VD901（推奨ポンプ：別手配）オイルミストトラップ： TM401（オプション：別手配）
低真
空ポ
ンプ
低真空ポンプ
仕 様
注意： YMVシリーズはメカニカルブースターポンプ用の架台ユニットです。メカニカルブースターポンプ＋油回転真空ポンプは別に手配してください。 メカニカルブースターポンプ／油回転真空ポンプの仕様は、単体のカタログを参照ください。単体オプションの追加が可能です。
（ただし、大気圧駆動［インバータ］はYMVのオプションから選定してください。）＊1 架台ユニットは、架台・接続配管・ベローズ配管・アジャスター・キャスターで構成されています。＊2 搭載可能な推奨ポンプの組み合わせです。＊3 到達圧力は、ピラニ真空計にて測定した値です。
メカニカルブースターポンプ用 架台ユニット【YMV シリーズ】
架台ユニット ＊1 YMV-01A YMV-03A YMV-06A → → YMV-06A YMV-12A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き → → ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き推奨ポンプ ＊2 メカニカルブースタポンプ PMB100D PMB300D PMB600D → → PMB600D PMB600D PMB1200D
油回転真空ポンプ VD301 VD401 VD601 → → VD901 VS1501 VS2401 VS1501 VS2401最大排気速度 m3/ h (L/min) 50Hz 95 (1580) 250 (4100) 450 (7500) → → 500 (8330) 550 (9200) 600 (10000) 850 (14200) 1000 (16700)
60Hz 115 (1900) 290 (4800) 520 (8670) → → 600 (10000) 660 (11000) 720 (12000) 1000 (16700) 1200 (20000)最大吸入圧力 Pa 50Hz 8.5×103 7.0×102 1.0×103 → → 1.3×103 1.5×103 2.4×103 1.3×103 2.0×103
60Hz 4.5×103 7.0×102 1.0×103 → → 1.1×103 1.3×103 2.1×103 1.1×103 1.7×103
到達圧力 Pa ＊3 4.0×10-1 → → 4.0×10-1 6.7×10-1
冷却水 冷却方式 ＊4 空冷 空冷／水冷 → → 空冷／水冷 水冷一次側圧力 MPaG － 0.3 → → 0.3 0.3出入口差圧 MPaG － 0.05 → → 0.05 0.1冷却水温度 ˚C － 5～ 30 → → 5～ 30 5～ 30冷却水量 L/min － 2.0≦ → → 2.0≦ 4.0≦ 5.0≦ 4.0≦ 5.0≦
吸気口径 JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 → → VG80相当 VG80相当 VG100相当排気口径 JIS B 2290 VG40相当 → → VG40相当 VG50相当質量 kg 145 175 260 → → 285 480 520 530 570オプション 大気圧駆動 I2 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用 → → PMB600D用 PMB600D用 PMB1200D用
（インバータ） ＊5 I4 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用 → → PMB600D用 PMB600D用 PMB1200D用オイルミストトラップ TM201／ TM401 TM401／ TM-2 (F) → → TM401／ TM-2 (F) TM-3 (F) TM-4 (F) TM-3 (F) TM-4 (F)制御盤 ＊6 PMB100D＋VD301用 PMB300D＋VD401用 PMB600D＋VD601用 → → PMB600D＋VD901用 PMB600D＋VS1501用 PMB600D＋VS2401用 PMB1200D＋VS1501用 PMB1200D＋VS2401用端子台ボックス PMB100D＋VD301用 PMB300D＋VD401用 PMB600D＋VD601用 → → PMB600D＋VD901用 PMB600D＋VS1501／ VS2401用 PMB1200D＋VS1501／ VS2401用吸気口フランジ ＊7 PMB100D用 PMB300D／PMB600D用 → → PMB300D／ PMB600D用 PMB300D／PMB600D用 PMB1200D用遅延真空電磁弁 ＊8 共用（DC24V / AC200V / AC220V / AC380V / AC400V / AC415V / AC440Vから選定） → → 共用（DC24V / AC200V / AC220V / AC380V / AC400V / AC415V / AC440Vから選定）冷却水フロースイッチ ＊9 － PMB300D＋VD401／ PMB600D＋VD601／PMB600D＋VD901用 → → PMB600D＋VS1501用 PMB600D＋VS2401用 PMB1200D＋VS1501用 PMB1200D＋VS2401用
外 形 寸 法 図
4-φ14穴 基礎ボルト用
排気口 JIS B 2290 VG40相当4-M8タップ, タップ穴中心径φ85
吸気口 JIS B 2290 VG50相当4-M8タップ, タップ穴中心径φ100
140140 580
4040
500
250( 6
21)
447 286.2860
(870)
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 1.5kW 4P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 0.4kW 2P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
TM401取付時（オプション）
TM201取付時（オプション）
0.75kW用インバータAC200V級
660 58
0
391 ( 6
71)
( 741
)( 8
48)
4-φ14穴 基礎ボルト用
排気口 JIS B 2290 VG40相当4-M8タップ, タップ穴中心径φ85
吸気口 JIS B 2290 VG80相当4-M10タップ, タップ穴中心径φ135
140140 580
4040
500
250( 6
21)
447 306860
(870)(45)
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 1.5kW 4P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 0.75kW 2P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
TM401取付時（オプション）
TM201取付時（オプション）
0.75kW用インバータAC200V級
冷却水入口 Rc3/8 冷却水出口 Rc3/8
660 58
0
391 ( 6
71)
( 741
)( 9
20)
4-φ14穴 基礎ボルト用
排気口 JIS B 2290 VG40相当4-M8タップ, タップ穴中心径φ85
吸気口 JIS B 2290 VG80相当4-M10タップ, タップ穴中心径φ135
135135 690
4040
500
250( 6
21)
405 437.5960
(970)(167)全閉外扇型フランジモータ3 Phase 2.2kW 2P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
全閉外扇型フランジモータ3 Phase 3.7kW 4P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
TM-2取付時（オプション）
TM401取付時（オプション）
2.2kW用インバータAC200V級
冷却水入口 Rc3/8 冷却水出口 Rc3/8
710 63
0
438
( 793
) ( 980
)( 1
030)
単位：mmYMV-01A（PMB100D＋VD301付）オプション ：インバータ付 ：オイルミスト トラップ付
YMV-03A（PMB300D＋VD401付）オプション ：インバータ付 ：オイルミスト トラップ付
YMV-06A（PMB600D＋VD901付）オプション ：インバータ付 ：オイルミスト トラップ付
＊4 吸入圧力により水冷が必要になります。詳しくはメカニカルブースターポンプのカタログを参照ください。＊5 インバータは、I2／ I4からお選びください。I2（200～ 240V）／ I4（380～ 480V）に対応しています。＊6 制御盤は、AC200V / AC220V / AC380V / AC400V / AC415V / AC440V / AC460V / AC480V仕様からお選びください。＊7 吸気口フランジには、φ18ゲージポート＋リークポート＋1/4Bソケットが付いています。＊8 遅延真空電磁弁を採用する際は、配管に1/4Bのソケットが必要になります。オプションの吸気口フランジをお勧めします。＊9 冷却水フロースイッチは、DC24V仕様になります。
架台ユニット ＊1 YMV-01A YMV-03A YMV-06A → → YMV-06A YMV-12A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き → → ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き推奨ポンプ ＊2 メカニカルブースタポンプ PMB100D PMB300D PMB600D → → PMB600D PMB600D PMB1200D
油回転真空ポンプ VD301 VD401 VD601 → → VD901 VS1501 VS2401 VS1501 VS2401最大排気速度 m3/ h (L/min) 50Hz 95 (1580) 250 (4100) 450 (7500) → → 500 (8330) 550 (9200) 600 (10000) 850 (14200) 1000 (16700)
60Hz 115 (1900) 290 (4800) 520 (8670) → → 600 (10000) 660 (11000) 720 (12000) 1000 (16700) 1200 (20000)最大吸入圧力 Pa 50Hz 8.5×103 7.0×102 1.0×103 → → 1.3×103 1.5×103 2.4×103 1.3×103 2.0×103
60Hz 4.5×103 7.0×102 1.0×103 → → 1.1×103 1.3×103 2.1×103 1.1×103 1.7×103
到達圧力 Pa ＊3 4.0×10-1 → → 4.0×10-1 6.7×10-1
冷却水 冷却方式 ＊4 空冷 空冷／水冷 → → 空冷／水冷 水冷一次側圧力 MPaG － 0.3 → → 0.3 0.3出入口差圧 MPaG － 0.05 → → 0.05 0.1冷却水温度 ˚C － 5～ 30 → → 5～ 30 5～ 30冷却水量 L/min － 2.0≦ → → 2.0≦ 4.0≦ 5.0≦ 4.0≦ 5.0≦
吸気口径 JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 → → VG80相当 VG80相当 VG100相当排気口径 JIS B 2290 VG40相当 → → VG40相当 VG50相当質量 kg 145 175 260 → → 285 480 520 530 570オプション 大気圧駆動 I2 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用 → → PMB600D用 PMB600D用 PMB1200D用
（インバータ） ＊5 I4 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用 → → PMB600D用 PMB600D用 PMB1200D用オイルミストトラップ TM201／ TM401 TM401／ TM-2 (F) → → TM401／ TM-2 (F) TM-3 (F) TM-4 (F) TM-3 (F) TM-4 (F)制御盤 ＊6 PMB100D＋VD301用 PMB300D＋VD401用 PMB600D＋VD601用 → → PMB600D＋VD901用 PMB600D＋VS1501用 PMB600D＋VS2401用 PMB1200D＋VS1501用 PMB1200D＋VS2401用端子台ボックス PMB100D＋VD301用 PMB300D＋VD401用 PMB600D＋VD601用 → → PMB600D＋VD901用 PMB600D＋VS1501／ VS2401用 PMB1200D＋VS1501／ VS2401用吸気口フランジ ＊7 PMB100D用 PMB300D／PMB600D用 → → PMB300D／ PMB600D用 PMB300D／PMB600D用 PMB1200D用遅延真空電磁弁 ＊8 共用（DC24V / AC200V / AC220V / AC380V / AC400V / AC415V / AC440Vから選定） → → 共用（DC24V / AC200V / AC220V / AC380V / AC400V / AC415V / AC440Vから選定）冷却水フロースイッチ ＊9 － PMB300D＋VD401／ PMB600D＋VD601／PMB600D＋VD901用 → → PMB600D＋VS1501用 PMB600D＋VS2401用 PMB1200D＋VS1501用 PMB1200D＋VS2401用
組 み 合 わ せ イ メ ー ジ
3535
650
325( 7
65)
190190
495 574(77) 1200
(1210)
820
4-φ18穴 基礎ボルト用
排気口 JIS B 2290 VG50相当4-M8タップ, タップ穴中心径φ100
吸気口 JIS B 2290 VG80相当8-M10タップ, タップ穴中心径φ135
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 2.2kW 2P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 7.5kW 4P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
TM-4取付時（オプション）
2.2kW用インバータAC200V級
918 80
0
冷却水入口 Rc3/8冷却水入口 Rc3/8 冷却水出口 Rc3/8冷却水出口 Rc3/8
568
( 125
8) ( 151
3)
冷却水入口 Rc3/8 冷却水出口 Rc3/8
冷却水入口 Rc3/8 冷却水出口 Rc3/8
4-φ18穴 基礎ボルト用
排気口 JIS B 2290 VG50相当4-M8タップ, タップ穴中心径φ100
吸気口 JIS B 2290 VG100相当8-M10タップ, タップ穴中心径φ160
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 3.7kW 2P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
全閉外扇屋内型フランジモータ3 Phase 7.5kW 4P AC200V/50, 60Hz AC220V/60Hz
TM-4取付時（オプション）
3.7kW用インバータAC200V級
190
3535
650
918
568
( 125
8) ( 151
3)
800
( 765
)
325
495 5741200
(1210)(200)
190820
単位：mmYMV-12A（PMB600D＋VS2401付）オプション ：インバータ付 ：オイルミスト トラップ付
YMV-12A（PMB1200D＋VS2401付）オプション ：インバータ付 ：オイルミスト トラップ付
メカニカルブースターポンプ
油回転真空ポンプ
架台ユニットYMVシリーズ
オプション
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
お問い合わせ
www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部
国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261
排 気 速 度 曲 線
YMV-01A, 03A
YMV-06A
YMV-12A（PMB600D）
YMV-12A（PMB1200D）
YMV-01A, 03A（インバータ）
YMV-06A（インバータ）
YMV-12A（PMB600D, インバータ）
YMV-12A（PMB1200D, インバータ）
1965N/2013056000TL
メカニカルブースターポンプ用 架台ユニット【YMV シリーズ】
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
100
200
300
400
1
Pumping SpeedType: PMB100D(T)＋VD301 PMB300D(T)＋VD401Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
PMB300D(T)＋VD401 60Hz
PMB100D(T)＋VD301 60Hz
PMB100D(T)＋VD301 50Hz
PMB300D(T)＋VD401 50Hz
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
200
100
300
400
500
700
600
1
Pumping SpeedType: PMB600D(T)＋VD601 PMB600D(T)＋VD901Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
PMB600D(T)＋VD601 50Hz
PMB600D(T)＋VD901 50Hz
PMB600D(T)＋VD901 60HzPMB600D(T)＋VD601 60Hz
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
200
100
600
500
400
300
700
800
1000
900
1
Pumping SpeedType: PMB600D(T)＋VS1501 PMB600D(T)＋VS2401Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
PMB600D(T)＋VS1501 50Hz
PMB600D(T)＋VS2401 50Hz
PMB600D(T)＋VS2401 60Hz
PMB600D(T)＋VS1501 60Hz
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
200100
600500400300
700800
10001100120013001400
900
1
PMB1200D(T)＋VS2401 60Hz
PMB1200D(T)＋VS1501 60Hz
PMB1200D(T)＋VS1501 50Hz
PMB1200D(T)＋VS2401 50Hz
Pumping SpeedType: PMB1200D(T)＋VS1501 PMB1200D(T)＋VS2401Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
Pumping SpeedType: PMB100D(T)＋VD301(Inverter) PMB300D(T)＋VD401(Inverter)Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
PMB300D(T)＋VD401(Inverter) 60Hz
PMB100D(T)＋VD301(Inverter) 60Hz
PMB100D(T)＋VD301(Inverter) 50Hz
PMB300D(T)＋VD401(Inverter) 50Hz
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
100
200
300
400
1
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
200
100
300
400
500
700
600
1
Pumping SpeedType: PMB600D(T)＋VD601(Inverter) PMB600D(T)＋VD901(Inverter)Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
PMB600D(T)＋VD601(Inverter) 50Hz
PMB600D(T)＋VD601(Inverter) 60Hz
PMB600D(T)＋VD901(Inverter) 60HzPMB600D(T)＋VD901(Inverter) 50Hz
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
200
100
600
500
400
300
700
800
1000
900
1
Pumping SpeedType: PMB600D(T)＋VS1501(Inverter) PMB600D(T)＋VS2401(Inverter)Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
PMB600D(T)＋VS2401(Inverter) 60Hz
PMB600D(T)＋VS1501(Inverter) 60Hz
PMB600D(T)＋VS1501(Inverter) 50Hz
PMB600D(T)＋VS2401(Inverter) 50Hz
Pum
ping
Spe
ed [m
3 /h]
Pressure [Pa]10-1 102 103 104 105100
200100
600500400300
700800
10001100120013001400
900
1
PMB1200D(T)＋VS2401(Inverter) 50Hz
PMB1200D(T)＋VS1501(Inverter) 60Hz
PMB1200D(T)＋VS1501(Inverter) 50Hz
PMB1200D(T)＋VS2401(Inverter) 60HzPumping SpeedType: PMB1200D(T)＋VS1501(Inverter) PMB1200D(T)＋VS2401(Inverter)Power: AC200V 50/60Hz 3φOil: MBP(ULVOIL R-4) RP(ULVOIL R-7)Gauge: Pirani Capasitance Manometer
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