Electron RF Linacs for Industrial Applications* S. H. Kim1)#, H. R. Yang1), M. H. Cho1,2), W. Namkung1,2), Y. G. Son2), S. D. Jang2), S. J. Kwon2), S. J. Park2), J. S. Oh3),…
SELECTED REFERENCES Ion Implantation Carter, G., W.A. Grant Ion Implantation of Semiconductors, London 1976 Dearneley, G., .l.R. Freeman, R.S. Nelson, .1. Stephen Ion Implantation…