1 XPT – PRAKTICKÁ METROLOGIE Měření laserinterferometrem 1 Jan Šrámek 2013
Dec 30, 2015
1XPT – PRAKTICKÁ METROLOGIE
Měření laserinterferometrem
1Jan Šrámek 2013
2
Princip činnosti laseru
Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation
3
Princip činnosti laseruPrincip činnosti interferometru
4
Renishaw XL-80 / XC-80
nm 633
5
Princip lineárního měření
μm)2,001,0( LU
• Přesné měření délky• Návaznost etalonů délky v metrologii• Kalibrace měřicích přístrojů• Zkoušky obráběcích strojů
6
Princip úhlového měření
• Příměrné desky• Příměrná pravítka• Rovinnost lože obráběcích strojů
7
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
0.05
0
-0.05
-0.1
-0.15
-0.2
-0.25
-0.3
Err
or
(mic
rom
etr
es
)
Ta rg e t (m illim e tre s )
ALL D A TA PLO T osa x - 1000mm
All Data Plot - LinearMachine:dlk SIP 1002M Serial No:1103 Date:2013-01-25 09:13 By:Sramek
Axis:x Location:CMI OI Brno Filename: sip example.rtBidirectional
Výstup - lineární měření
8
FLATNESS PLOT deska 9291
A
C
H
D
G
E
G
A
F
B
E
C
G
C
AE
Moody plotMachine:pd granit dobr Serial No:9291 Date:10:43 Oct 17 2012 By:Sramek
Misc:stitek u bodu G Location:Temelin metrol
Cl. err 7: 1.050Cl. err 8: 1.175Range: 7.750Units: micrometres
Výstup – měření rovinnosti
9
Děkuji za pozornost
Měření na délkoměru Kalibrace délkoměru Nashledanou
Laserinterferometr v praxi