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Pag. 1
Espectroscopa de electrones fotoemitidos
(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
Dr. Wencel De La Cruz H.Centro de Nanociencias y
Nanotecnologa
Universidad Nacional Autnoma de MxicoEnsenada, B.C.
Seccin 1Introduccin
Aspectos bsicos
Divisin spin-orbita
Anlisis cualitativo
Electrones Auger inducidos por los rayos-X
Profundidad de informacin
Anlisis cuantitativo por XPS
Error en la medicin
Asimetra de los fotoelectrones
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IntroduccinEfecto fotoelctrico
Descubierto por Hertz (1887)y explicado por Einsten en 1905
(premio Nbel en 1921).
El desarrollo del XPS como un mtodo sofisticado de anlisis es el
resultado del trabajo meticuloso del sueco Kai Siegbahn y sus
colegas (1957-1967).Kai Siegbahn premio Nbel en 1981
tomo de oxgeno
Electrn fotoemitido O1s
Fotn de rayos-X
XPS X-ray Photoelectron SpectroscopyESCA Electron Spectroscopy
for Chemical AnalysisUPS Ultraviolet Photoelectron SpectroscopyPES
Photoemission electron Spectroscopy
Fuente de rayos-X
Electrones fotoemitidos
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Fotn
Energa de enlace
Energa cintica
Electrn fotoemitido
Espectro XPS:
Intensidad de los electrones fotoemitidos Vs. K.E. o B.E.
K.E. = h B.E. -
9 Identificacin elemental y estados qumicos del elemento.
9 Composicin relativa de los constituyentes de la
superficie.
9 Estructura de la banda de valencia
Aspectos bsicos
Ilustracin del proceso de fotoemisin para el Ni 3p donde los
tomos de O 2p son absorbidos por el metal.
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Pag. 4
Referencia para la energa de enlace
Muestra
Espectrmetro
Mismo nivelNivel de Fermi Nivel de Fermi
Nivel de vacoNivel de vaco
Instrumentacin
Analizador de energa del electrn.
Fuente de rayos-X.
Neutralizadora.
Sistema de vaco.
Controles electrnicos.
Can de iones de Ar.
Sistema de Ultra Alto Vaco (
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Pico:
Fotoelectrn sin prdida de energa
Background: Fotoelectrn con prdida de energa
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Divisin Spin-rbita
Notacin de los picos:
Acoplamiento L-S ( j=l+s )
rea ~ 2j+1
Los valores de separacin de un doblete (producido por la
interaccin Spin-rbita) de un nivel interno de un elemento en
diferentes compuestos son casi los mismos.
El cociente de las reas de los picos en un doblete de un nivel
interno de un elemento en diferentes compuestos son tambin los
mismos.
El valor de separacin de los dobletes y el cociente de las reas
son de gran ayuda para la identificacin de elementos.
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Anlisis Cualitativo
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Electrones Auger inducidos por los rayos-x
La K.E. es independiente de la energa de los rayos-X.
Estado base Transicin a un estado excitado
Estado final
Profundidad de informacin en XPS
Camino Libre Medio Inelstico (IMFP o ):Es la distancia promedio
que un electrn con una energa dada viaja entre dos colisiones
inelsticas sucesivas.
Intensidad de electrones (Io) emitida a una profundidad d por
debajo de una superficie es atenuada acorde a la ley de Beer
Lambert. As, la intensidad de esos electrones que alcanzan la
superficie (Is) est dada por:
Para una longitud de camino de un , la intensidad de la seal ha
cado un 63%
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Profundidad de informacin en XPS
La profundidad de informacin es definida como la profundidad a
la cual el 95% de todos los fotoelectrones son dispersados al
momento de alcanzar la superficie (3).
La mayora de los estn entre 1 y 4 nm (usando fuente de Al
K).
As, la profundidad de informacin (3) ser aproximadamente de 3 -
12 nm, bajo las condiciones mencionadas anteriormente.
No es correcto hablar de una curva Universal para los IMFP,
yaque es funcin de cada material.
depende de: La energa cintica del electrn. De un material en
especfico.
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Camino Libre Medio Inelstico (IMFP o IMFP)TPP2M
( )( )
ED
ECEE
E
p
IMFP
+=
22 ln
( )
4.829
8.204.5391.097.1
191.0
069.0944.01.0
2
50.0
1.0
212
pV
gp
EM
NU
UDUC
EE
====
=
++
+=
donde:
E : Energa del electrn (eV)
Eg: Ancho de energa prohibida (eV)
Ep: Energa del plasmn (eV.)
: Densidad (g/cm-3)NV: Nmero de electrones de Valencia
M: Peso atmico
Anlisis Cuantitativo por XPS: I
Algunos anlisis cuantitativos por XPS tienen una exactitud de
10%
donde: Ii = intensidad de un pico p de fotoemisin para un
elemento i.
Ni = Concentracin atmica promedio de un elemento i en la
superficie bajo anlisis.
i = Seccin eficaz de fotoionizacin (Factor de Scofield).i =
Camino libre medio inelstico de los electrones del pico p.K = Todos
los factores relacionados a la deteccin de la seal (asumidos
constante durante un experimento).
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Cmo medir la intensidad de un pico de fotoemisin?
Altura del pico
rea del pico
rea del pico
rea del pico
Energa cintica
Energa cintica
Energa cintica
Energa cintica
Intensidad
Intensidad
Intensidad
Intensidad
La peor!!
La Mejor!!
Debe incluir correcciones de prdida debida a plasmones y otros
picos
Error del 15% usando los ASF.
El uso de mediciones de muestras patrn (o la ecuacin descrita
anteriormente) el error es aproximadamente del 5%.
En ambos casos la reproducibilidad es de 98% (Apro.)
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Funcin Respuesta de un Analizador
La funcin respuesta es la eficiencia de deteccin en un
analizador de electrones, la cual es funcin de la energa del
electrn. La funcin respuesta tambin depende de parmetros del
analizador de electrones, tal como la resolucin del analizador.
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Anlisis cuantitativo: II
Seccin eficaz de fotoionizacin (i ) ha sido calculado
tericamente para todos los elementos y para las fuentes de Al K y
Mg K.Camino libre medio inelstico (i) vara con la energa cintica
del fotoelectrn y puede ser estimado de la frmula TPP-2M.
Para una superficie compuesta por varios elementos i, j y k, la
concentracin relativa se puede obtener de:
kkk
k
jjj
j
iii
i
iii
i
kji
i
KI
KI
KI
KI
NNNN
++
=++
Ejemplos de cuantificacin: I
Cociente atmico Oxgeno/metal
Tabla I: xidos superficiales: cuantificacin obtenida a partir de
la correspondiente intensidad del pico.
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Ejemplos de cuantificacin: II
Tabla II: Comparacin de las concentraciones obtenidas por XPS y
EPMA (SEM+EDS) para algunos minerales.
Seccin eficaz de fotoionizacin (i ) de Scofield
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Error en la cuantificacin
Ii = El error principal que se comete durante la medicin de la
intensidad es debida a la mala substraccin del background.
i = Valores calculados tericamente (se desconoce su
magnitud).
i = el error estimado puede ser de hasta un 50%.
Asimetra de las picos de emisin
( )
+= 1235.01 2 senL
es una constante para cada nivel de energa. es el ngulo entre la
fuente de rayos x y el analizador.
La ecuacin anterior implica la existencia de un ngulo mgico de
54.7 grados, para el cual L es igual a 1
La probabilidad de que un fotoelectrn salga en la direccin en la
que se encuentra el analizador de electrones, requiere de la
definicin del trmino anisotrpico L, la cual est dada por la
siguiente expresin (fuente no monocromtica).
)()()(0 LETEII aMED
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Seccin 2Corrimientos qumicos en XPS
Estados inicial y final
Anchos de lnea y resolucin
Instrumentacin
Efectos qumicos en XPSCorrimiento qumico: Cambio en la energa de
enlace de un electrn del core debido a un cambio en los enlaces de
ese elemento.
Cualitativamente hablando, la energa de enlace del core est
determinada por la interaccin electrosttica entre l y el ncleo y
reducida por:
Apantallamiento electrosttico de la carga nuclear debido a todos
los otros electrones (incluyendo a los electrones de valencia).
Remocin o adicin de carga electrnica como un resultado de los
cambios se alterara el apantallamiento.
Remocin de la carga electrnica de valencia Incremento de
B.E.
Aumento de la carga electrnica de valencia disminucin de
B.E.
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Corrimientos qumicos: xido vs. metal
Energa de enlace es menor debido al incremento del
apantallamiento de los ncleos por los electrones 2s.
Energa de enlace es mayor debido a que los electrones 2s del Li
son cedidos al oxgeno.
Espectro XPS
2p6
Usualmente los corrimientos qumicos son pensados como un efecto
del estado inicial (i.e. el proceso de relajacin son similares en
magnitud para todos los casos)
Corrimiento qumico para el Ti 2p al pasar de Ti a Ti4+
Los corrimientos qumicos son una herramienta poderosa para
identificar ambientes qumicos, estados de oxidacin y grupos
funcionales.
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Tabla III: Energas tpicas para el C 1s de muestras orgnicas
Tabla IV: Energas tpicas para el O 1s de muestras orgnicas
Ejemplos de corrimientos qumicos
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Espectro de alta resolucin de la Arsenopirita
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Corrimientos qumicos
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Corrimientos qumicosSe cuenta con base de datos en el
NISThttp://srdata.nist.gov/xps/
Hay muchas opciones y puedes escoger la que ms te guste!!!
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Calibracin de las energa
InstrumentacinAnalizador de electrones
Analizador hemisfricoconcntrico (CHA)
Analizador de espejos cilndricos (CMA)
1. Estos analizadores deben de trabajar a resolucin constante
para XPS.2. Tambin pueden trabajar a resolucin variable, pero no se
usa para XPS.
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Influencia de la resolucin del analizadoren la forma e
intensidad del pico
295 290 285 280 275
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
Resolucin altaResolucin media
Resolucin baja
Inte
nsid
ad N
orm
aiza
da
Energa de enlace (eV)295 290 285 280 275
Resolucin alta
Resolucin baja
Resolucin mediaInte
nsid
ad (U
.A.)
Energa de enlace (eV)
Espectro de XPS del pico de C1s (muestra de BC)
Satlites de la fuente de rayos-XTabla VI: energas e intensidades
de los satlites de rayos -X
1300 1500
1
10
100
Inte
nsid
ad re
lativ
a a
k1,
2
Energa (eV)
Mg Al
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Fuentes monocromticas
Para Al K
Usando los planos (1010) deUn cristal de cuarzo tenemos:
`Ventajas de usar fuente de rayos-X monocromticos: Ancho de
picos XPS delgados Reduce el background No hay picos satlites en
XPS ni picos fantasma
Radiacin Monocromtica
Radiacin no Monocromtica
XPS de una muestra de SiO2 usando una fuente de Al k
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Experimentalmente, poder discernir entre tomos que tienen un
pequeo corrimiento qumico est limitado por el ancho del pico, el
cual depende de:
1) El ancho intrnseco de los niveles iniciales y el tiempo de
vida del estado final (EP).
2) El ancho de lnea de la radiacin incidente (EF).3) El poder de
resolucin del analizador de electrones (EA).
222PFA EEEE ++=
Anchos de lnea y resolucin
Ms comunes
Tabla V: Energas y anchos de las lneas de rayos-X
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Variacin de la fuente de rayos-X
Mtodos analticosConvolucin
Deconvolucin
Cmo podemos obtener espectros XPS de alta resolucin?
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Seccin 3Prdidas de energa electrnica (background)
Atenuacin del electrn: dispersiones inelsticas
Modelo interpretativo: QUASES
Diferentes picos en un espectro XPS
Perfil de profundidad
Prdidas de energa electrnica (background)Origen del
backgroundLos fotoelectrones pierden energa por chocar con los
plasmones (volumen y superficies) y por producir cualquier
excitacin de los niveles en la banda de valencia.
Por qu es importante estudiar el background?
Por que se puede obtener informacin de la profundidad y
distribucin lateral de los elementos, utilizando la metodologa
desarrollada por Sven Tougaard.
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Background:dispersiones inelsticas
Tougaard desarroll un procedimiento de ajuste a la cola
inelstica, la cual da informacin de la morfologa de las capas
superficiales. Tal como, el recubrimiento, alturas de partculas (o
pelculas)
Anlisis de espectros XPS usando QUASES La cuantificacin
tradicional por XPS asume que:
El rea de anlisis es homognea. La concentracin atmica
superficial es directamente proporcional a la intensidad del
pico.
Para una mayor exactitud en la cuantificacin se debera tener en
cuenta la intensidad del pico, la forma del pico y la energa del
background. En XPS los electrones detectados resultan de dos
procesos:
Los electrones intrnseco (los fotoelectrones). Los electrones
extrnsecos (los fotoelectrones dispersados inelsticamente).
Los electrones extrnsecos dependen fuertemente de la profundidad
a la que fueron emitidos y de la distribucin lateral. La figura
muestra un clculo terico de la porcin extrnseca del espectro 2p de
Cu, como una funcin de la posicin y distribucin de los tomos de Cu
en una cierta matriz.
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ef(x) dxe ds ) ,EF( dE = )J(E, / (s) x)E(E s2 i00 0 cos21
( s) = 1 K(T) e dTi 0
isT
Camino libre medio inelstico de los electrones en el slido
Espectro medido
Nmero de electrones por segundo, por tomo y por unidad de energa
emitidos en ngulo slido
Concentracin atmica a una profundidad x
Seccin eficaz de dispersin inelstica
Prdida de energa del electrn
Formalismo matemtico para la descripcin de un espectro XPS
S. Tougaard, Surface and Interface Analysis 11, 453 (1988).S.
Tougaard and H.S. Hansen, Surface Interface Analysis 14, 730
(1989).S. Tougaard, J. Electron Spectroscopy 52, 243 (1990).
[ ]F E P J E dE J E ds i s E E PP s( , ) ( , ) ( , ) exp ( ) ( (
))' ' =
12 1
1
1
( ) ( ) ( )P s = dx f x x s exp cos
( )1i
P = dx f x x
exp cos
donde
Para encontrar F(E,) primero se deben evaluar (s), P1 y
P(s).
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Para una muestra homognea
( ) ( ) ( ) ( )
E
EEKEJdEEJc
=EF ''' ,,cos1,
Algoritmo de sustraccin de Background por Tougaard Tambin puede
ser utilizado para determinar si una muestra es homognea
f(x) = c , P1 = ccos P(s) = c cos/((s))
SUSTRATO
Superficie
Para el caso de nanopartculas
SUSTRATO SUSTRATO
DX = Valor medio de las alturasde las partculas
SUSTRATO
DX
SUSTRATO
DX
( )
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Parmetros necesarios para el anlisis
Camino libre medio inelstico de los electrones que provengan de
la seal de inters.
Seccin eficaz de dispersiones inelsticas.
El ngulo entre el analizador y la normal de la muestra.
Proponer una distribucin en profundidad de los tomos presentes
en la muestra.
K, ,
M.E.K.P. ~ 0
Terminar
( ) ( )KFFT =sProponer una f(x)
( )sPP11
( )
sP
PFFT 11
( )EFNO
Seccin eficaz de dispersin inelstica (K)
Las secciones eficaces son obtenidas de mediciones de prdidas de
energa electrnica por reflexin (REELS).
La deconvolucin de las dispersiones mltiples se realizan a
partir de la siguiente expresin:
elstico pico del rea )(jDonde
)(
)()()()(
0l
0
1
10
0
==
+=+
=
p
l
i
mmlmiil
i
AEE
EEj
EEjEEKL
LEjEEK
LL
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Diferentes picos en espectros XPS
1) Picos de Fotoemisin2) Picos Auger3) Picos debido a Satlites
de Rayos-X4) Picos Fantasmas de Rayos-X5) Picos debido al
shake-up6) Picos por divisin de multiplete7) Picos debido a prdidas
de energa por plasmones8) Picos y bandas de valencia
Picos debido a Satlites de Rayos-X
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Picos Fantasmas de Rayos-X
Picos debido al shake-up
Niveles devalencia
Niveles desocupados
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Picos por divisin de multiplete
Picos debido a prdidas de energa por plasmones
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Espectros en la Banda de Valencia
Adems de los niveles internos mostrados en los espectros XPS, la
regin de baja energa de enlace del espectro (0-35 eV) contiene
informacin de la banda de valencia.
Mtodo general para la identificacin de los picos
1) Identificar los picos C1s, O1s, C(KLL), O(KLL) ya que son los
ms sobresalientes en un espectro XPS si las muestras no han sido
preparadas en forma in-situ. Recuerde identificar los picos debidos
a los satlites y los debidos a prdidas de energa.
2) Identifique las otras lneas intensa en el espectro (utilice
el manual de XPS) recuerde tener presente los picos debido a los
satlites de rayos-x. Realice una tabla con las posiciones en energa
de los picos menos intensos. Tenga presente que puede haber
interferencia de los picos ms intensos con algunos otros elementos,
por ejemplo: para el C1s el Ru3d; para el O1s el V2p y el Sb3d;
para el O(KLL) el I(MNN) y Cr(LMM); para el C(KLL) el Ru(MNN).
2) Identifique los picos de menor intensidad que te hagan falta
identificar, asumiendo que estos picos son los ms intensos de
elementos desconocidos. Los pequeos picos que no se puedan
identificar pueden ser picos satlites.
3) Observe que las separaciones debidas a los doblete de spin
sean las correctas (para los picos p, d y f) y, que el cociente
entre los dobletes del pico p es sea de 1:2; de los d sea de 2:3; y
de los f sea de 3:4.
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Perfil de profundidad
Anlisis por XPS
Erosin con iones de Ar+
Anlisis por XPS
Material erosionado
Tiempo de erosinre
a de
l pic
o
Se asume una velocidad constante de erosin
Tiempo de erosinre
a de
l pic
o
ProfundidadCon
cent
raci
n
Calibracin de la escala de profundidad: A partir de la velocidad
de erosin, obtenida del tiempo que se tarda en erosionar una capa
del mismo material, la cual tenga un grosor conocido. A partir de
medidas de perfilometra de la profundidad del crter dejado por la
erosin.
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Perfil de profundidad con rotacin de la muestra
Iones: 4 kVMuestra en reposo
Iones de alta energa
Muestra
Iones: 4 kVMuestra en rotacin
Muestra
Iones de alta energa
Iones: 500 VMuestra en rotacin
Muestra
Iones de baja energa
Ancho de la interfaz Cr/Si = 23.5 nm
Ancho de la interfaz Cr/Si = 11.5 nm
Ancho de la interfaz Cr/Si = 8.5 nm
Factores que afectan un perfil de profundidad
Caractersticas de lamuestra
Efectos inducidos por la radiacin
Factor instrumental
Adsorcin de los gases residuales. Redepsitos de las especies
erosionadas. Impureza en el haz de iones. Intensidad no uniforme
del haz de iones. Dependencia en el tiempo de la intensidad del
haz.
Informacin de profundidad (IMFP). Rugosidad original de la
superficie. Estructura cristalina y defectos. Erosin preferencial y
rugosidad inducida.
Implantacin de los iones primarios (Ar+) Mezcla atmica.
Rugosidad inducida. Erosin preferencial y descomposicin del
compuesto. Difusin y segregacin.
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Daos inducidos por los rayos - X
Para muestras sensibles se deben hacer las mediciones al menos
dos veces para ver si hubo algn dao en la muestra.
Seccin 4Compensacin de cargas
Anlisis de reas pequeas e imagen
Variaciones angulares
Parmetro Auger
Sistemas XPS en Mxico
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Compensacin de la carga
FotoelectronesElectrones AugerElectrones
secundariosBackground
Rayos-X
Muestra
Para metales u otras muestras conductoras son aterrizadas al
sistema.
Los electrones se mueven continuamente a la superficie para
compensar a los electrones perdidos en la regin de la
superficie.
Muestra
Carga superficial no-uniforme
Ensanchamiento de los picos!!
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Tcnicas para referenciar la energa de enlace en muestras
aislantes
Tomar ventaja de los contaminantes basados en carbono-
Contaminacin del ambiente.- Contaminacin de bombas de aceite.-
Adicionar ciclohexano.
A menudo se utiliza una energa de enlace de 285 0.2 eVu otro
pico de la muestra con posicin bien conocida.
Tcnicas de compensacin de cargas
Usando un can de electrones de baja energa
ptica de los electrones
Filamento
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rea de anlisis determinada por el analizador rea de anlisis
determinada por tamao del haz de rayos -X
Rayos -X Rayos -XMuestra Muestra
Fotoelectrones FotoelectronesApertura del analizador
Apertura del analizador
Anlisis de reas pequeas e imagen con XPS
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Tcnicas de imagen por XPS
(1) - Moviendo el portamuestra- Imagen: Posicin x,y vs. la
intensidad de los fotoelectrones Resolucin: 50 m.
Tamao pequeo de los rayos-X
(2) - Usando placas para el barrido- Imagen: Voltajes Vx,Vy
de
barrido Vs. Intensidad de los fotoelectrones.
Resolucin: 10 m.
(3) - Usando un arreglo de detectores- Imagen: Posicin x,y del
detector
vs. la intensidad de los fotoelectrones
Resolucin: 3 m.Detector MPC
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Ejemplos de imagen por XPS
Variaciones angulares
Puede aprovecharse la sensibilidad angular de deteccin para
obtener informacin no destructiva de profundidad
Este anlisis est limitado a capas muy delgadas
Para valores pequeos de la contribucin principal del espectro es
de la muestra de Si
Para valores mayores de se vuelve sustancial la contribucin de
la capa de xido
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Parmetro Auger
El parmetro Auger (insensible al efecto de carga electrosttica)
fue definido como
=Ek+EB-hEk: Energa cintica del pico Auger ms intensoEB : Energa
de enlace del pico XPS ms intenso
XPS no detecta Hidrgeno. Requieren ultra alto vaco. Las muestras
generalmente son slidos. Para muestras aislantes debe neutralizarse
la carga acumulada.
Algunas limitaciones del XPS
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Aplicaciones
Estados de valencia; estequiometras, estructura
electrnicaSuperconductores
Caracterizacin de recubrimientos de pelculas delgadas e
interfaces; identificacin de xidos nativos
Semiconductores
Identificacin de las especies intermedias formadas; estado de
oxidacin de especies activas
Catlisis
Enlace entre pelcula y sustrato; cambios qumicos durante la
adhesin
Adhesin
Identificacin elemental; anlisis de aleaciones; estudio de
recubrimientos
Metalurgia/ tribologa
Identificacin elemental; oxidacin; composicin qumica en el
proceso
Corrosin y oxidacin
Informacin disponiblerea de aplicacin
CCMC-UNAM
*
*
IICO
*CINVESTAV *
IIM-UNAM
UAM-IZTAPALAPAIF-UAP
*IMP
Sistemas XPS en Mxico
IPN