エ ネ ル ギ ー 分 散 型 蛍 光 X 線 分 析 装 置 に よ る 各 種 金 属 試 料 の 非 破 壊 迅 速 元 素 分 析 分 析 事 例 １ ． SUSね じ の 迅 速 元 素 分 析 蛍光X線分析は非 破 壊 での迅 速 元 素 分 析 が可能です。 試料をそのまま分析・回収できることから、製品・部品の品 種 確 認 ・ 品 質 管 理 に活用されています。 S U S ね じ 頭 部 S U S ね じ 軸 部 化 学 分 析 定 量 値 ※ 2 （ ％ ） 元 素 蛍 光 X 線 定 量 値 （ ％ ） N = 5 平 均 繰 返 し 精 度 （ ％ ） 変 動 係 数 （ ％ ） 蛍 光 X 線 定 量 値 （ ％ ） N = 5 平 均 繰 返 し 精 度 （ ％ ） 変 動 係 数 （ ％ ） C r 1 8 . 4 0.064 0.35 1 7 . 6 0.084 0.47 1 8 . 1 9 N i 8 . 7 0 0.054 0.62 9 . 2 3 0.119 1.29 8 . 7 3 C u 2 . 3 7 0.011 0.46 2 . 4 7 0.037 1.50 2 . 5 2 M n 2 . 1 1 0.025 1.18 1 . 9 6 0.039 1.99 1 . 8 8 S i 0 . 4 5 0.019 4.22 0 . 3 7 0.039 10.5 0 . 2 7 M o 0 . 3 1 0.003 0.97 0 . 3 0 0.003 1.00 0 . 2 4 V 0 . 1 5 0.006 4.00 0 . 1 6 0.039 24.4 0 . 1 2 P 0 . 0 6 0.002 3.33 0 . 0 9 0.012 13.3 0 . 0 3 N b 0 . 0 3 0.002 6.67 0 . 0 2 0.001 5.00 0 . 0 2 ねじ頭部のように測 定 面 が 平 坦 な 場 合 、 繰返し精度の良い（変動係数が数％程度）の 分析が可能です。 蛍 光 X線 分 析 で は 、 平 坦 な 測 定 面 の 試 料 形 状 で あ る の こ と が 理 想 的 で す 。 一方、ねじ軸部のように測定面が曲 面 か つ 凹 凸 が あ る 場 合 ※ 1 でも分 析 可 能 ですが、 平坦な場合よりは繰り返し精度は悪くなります。 S U S ね じ 頭 部 軸 部 表１．SUSねじのエネルギー分散型蛍光X線分析結果 SUSねじの迅速元素分析を、エネルギー分散型蛍光X線を用いて行いました。 蛍光X線分析はFP（ﾌｧﾝﾀﾞﾒﾝﾀﾙﾊﾟﾗﾒｰﾀｰ）法、化学分析はICP発光分析法での定量 値です。化 学 分 析 定 量 値 と 近 似 し た 良 好 な 結 果 が 得 ら れ ま し た 。 （分析結果は表１） ※2 化学分析はSUSねじ頭部+軸部込でサンプリングを実施し、定量した値です。 ※1 試料加工可能な場合、測定面を平坦に加工して測定します。 ＊蛍光X線分析の詳細はNSST report 「エネルギー分散型蛍光X線分析による非破壊迅速元素分析 Part1」 グリーン調達に関しては、NSST report「エネルギー分散型蛍光X線分析装置によるグリーン調達を背景としたスクリーニング」 粉体試料に関しては、NSST report「少量粉体試料の蛍光X線分析」をご覧ください。 No.HRM-1219-1 Technical Report お問合せはこちら 技術のお問合せ先:瀬戸内事業所 材料営業部 TEL:079-236-0041 FAX:079-236-1501
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エネルギー分散型蛍光X線分析装置による各種金属試料の非破壊迅速元素分析
分析事例１． SUSねじの迅速元素分析
蛍光X線分析は非破壊での迅速元素分析 が可能です。
試料をそのまま分析・回収できることから、製品・部品の品種確認・品質管理 に活用されています。
SUSねじ 頭部 SUSねじ 軸部 化学分析定量値※2
（％）元素蛍光X線 定量値（％）
N=5平均
繰返し 精度 （％）
変動 係数 （％）
蛍光X線 定量値（％）
N=5平均
繰返し 精度 （％）
変動 係数 （％）
Cr 18.4 0.064 0.35 17.6 0.084 0.47 18.19
Ni 8.70 0.054 0.62 9.23 0.119 1.29 8.73
Cu 2.37 0.011 0.46 2.47 0.037 1.50 2.52
Mn 2.11 0.025 1.18 1.96 0.039 1.99 1.88
Si 0.45 0.019 4.22 0.37 0.039 10.5 0.27
Mo 0.31 0.003 0.97 0.30 0.003 1.00 0.24
V 0.15 0.006 4.00 0.16 0.039 24.4 0.12
P 0.06 0.002 3.33 0.09 0.012 13.3 0.03
Nb 0.03 0.002 6.67 0.02 0.001 5.00 0.02
ねじ頭部のように測定面が平坦な場合、繰返し精度の良い（変動係数が数％程度）の分析が可能です。
蛍光X線分析では、平坦な測定面の試料形状であるのことが理想的です。
一方、ねじ軸部のように測定面が曲面かつ凹凸がある場合※1でも分析可能ですが、平坦な場合よりは繰り返し精度は悪くなります。
SUSねじ
頭部
軸部
表１．SUSねじのエネルギー分散型蛍光X線分析結果
SUSねじの迅速元素分析を、エネルギー分散型蛍光X線を用いて行いました。
蛍光X線分析はFP（ﾌｧﾝﾀﾞﾒﾝﾀﾙﾊﾟﾗﾒｰﾀｰ）法、化学分析はICP発光分析法での定量値です。化学分析定量値と近似した良好な結果が得られました。（分析結果は表１）
※2 化学分析はSUSねじ頭部+軸部込でサンプリングを実施し、定量した値です。
※1 試料加工可能な場合、測定面を平坦に加工して測定します。
＊蛍光X線分析の詳細はNSST report 「エネルギー分散型蛍光X線分析による非破壊迅速元素分析 Part1」 グリーン調達に関しては、NSST report「エネルギー分散型蛍光X線分析装置によるグリーン調達を背景としたスクリーニング」
粉体試料に関しては、NSST report「少量粉体試料の蛍光X線分析」をご覧ください。
No. M-1219
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No.HRM-1219-1Technical Report
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分析事例 ３． 銅合金の迅速元素分析
分析事例 ２． はんだの迅速元素分析
測定試料：
鉛フリーはんだ認証標準物質
（金属成分蛍光X線分析用）
JSAC 0133
JSAC 0134
JSAC 0133 JSAC 0134
元素 標準値 （％）
蛍光X線 定量値（％）
標準値 （％）
蛍光X線 定量値（％）
Ag 3.41 3.65 3.91 3.92
Cu 0.76 0.80 0.51 0.53
Pb 0.10 0.11 0.20 0.21
Cd 0.08 0.09 0.15 0.14
微量成分の差も確認できます。
元素 標準値（％） 蛍光X線 定量値（％）
元素 標準値（％） 蛍光X線 定量値（％）
Cu 85.57 85.5 Zn 3.46 3.14
Sn 6.01 6.60 Ni 0.28 0.33
Pb 4.12 4.27 Sb 0.16 0.17
測定試料： 銅合金 Rg7 BAM 227
＊定量方法：FP法
＊定量方法：FP法
表２．はんだのエネルギー分散型蛍光X線分析結果
― JSAC 0133
― JSAC 0134
表３．銅合金 BAM 227 のエネルギー分散型蛍光X線分析結果
認証値と近似した結果が得られています。
図１．はんだのエネルギー分散型蛍光X線分析ピークデータ
エネルギー分散型蛍光X線分析装置による各種金属試料の非破壊迅速元素分析
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