SIHI dry LA POMPE A VIDE (PRIMAIRE) ENTIÈREMENT ...rtvide.cnrs.fr/IMG/pdf/SIHIdry-pompe-seche-Lille-2010.pdfSTERLING & SIHI Slide 2 1991 Foundation de Sterling Industry Consult GmbH

SIHIdry

LA POMPE A VIDE (PRIMAIRE) ENTIÈREMENT

SECHE !SECHE !

Mercredi 29 Septembre 2010IEMN Lille

Guy GIBOURDEL

Pumping Technology For A Better Future

1920 Fondation de Siemen & Hinsch àSt. Margarethen / Elbe (SIHI)

1925 Déménagement de la Société à Itzehoe

1970 Fondation de SIHI-Anlagentechnik GmbH (Enginee red Systems)avec des usines in Tönning, today Dägeling

1971 SIHI absorbe HALBERG-Maschinenbau GmbH, Ludwig shafen

1981 50% de la société SIHI (actionnaire Hinsch) es t achetée par le groupe Thyssen -Bornemisza,

STERLING & SIHI

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Thyssen -Bornemisza,

1991 Foundation de Sterling Industry Consult GmbH ( SIC), Itzehoe

1996 Les 50% restant aux actinnaires fondateurs (Act ionnaire Siemen) sont rachetés par le groupe Thyssen-Bornemisza( TBG),Integration dans le groupe Sterling Fluid Systems

2004 Restructuration de la Société en orientation ma rchés (Divisions)


- Pompes Process Chimie- Pompes à volutes industrielles- Pompes à Canal latéral- Pompes à fluides chauds- Pompes multicellulaires- Pompes à coupleurs magnétiques

Gamme de produits SIHI

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- Pompes de tour de refroidissement- Alimentation de chaudière- Pompes à condensats

- Mélangeurs de boue


Technologie du Vide- Pompes à vide à anneau liquide- Pompes à vide sèches- Ejecteurs à vapeur & à gaz

Gamme de produits SIHI

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Compresseurs- Compresseurs à anneau liquide

Systèmes de vide- Skids pompes à vide et compresseurs- Systèmes de récupération de COV par Membrane

Pumping Technology For A Better FuturePompes à vide (SIHI)

Anneau liquide + éjecteur air

Pompe à palettes, à piston

Booster à huilePompe à diffusion

Éjecteur vapeurPompe turbo moléculaire

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10001001010.10.010.00110-410-510-610-710-8

hPa

Pompe à palettes, à piston

Pompe sèche SIHI dry

Roots ( + SIHIdry , ……)

Pompe Cryogénique

Pompe ionique,à sublimation

Pompes sèches à becs, à vis


LES OBJECTIFS :

� Éviter la pollution du procédé et des vapeurs pompées

� Maintenir un bon niveau de vide stable dans le temps

� Supprimer la production d’effluents (huile)

Pourquoi les pompes à vide sèches ?

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� Supprimer la production d’effluents (huile)

� Assurer le pompage de particules, de vapeurs (agressives)

� Assurer un fonctionnement fiable sans entretien

� Limiter la pollution sonore et vibratoire


Aucun contact mécanique en fonctionnement

Sans engrenages lubrifiés:Absence totale d’huile !

Technologie SIHI dry

Un moteur par arbre ( synchrone type "brushless")

Synchronisation par électronique de contrôle 400V t ri

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Absence totale d’huile !

Engrenages secs pour synchronisation initiale

Roulements graissés pour au moins 20.000 heures

Vis en acier Inox DIN 1.4122Corps fonte ductile GGG 40-3


2 vis verticales en Inox DIN 1.4122 • Sans contact avec jeux larges• Vis en Acier Inox non revêtues

SIHIdry : Concept de Construction

Carter en fonte ductile GGG 40-3• Pas de corrosion en ambiance sèche• Gérer dilatations différentielles avec Inox des vis

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Cartouche roulements • (2x2) roulements à billes céramique • Graissés avec graisse inerte synthétique• Cartouche en Acier inoxydable

• Vis en Acier Inox non revêtues

Motorisation étanche

Barrage de gaz neutre des moteurs • pompage de vapeurs condensables ou/et gaz contaminants


Construction sans palier supérieur côté vide :Etanchéité simplifiéeDémontage facile et rapide pour inspection/nettoyage

SIHIdry : Concept de Construction

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La position des vis est contrôlée par encodeurs et

variation de fréquence

Ces engrenages non


Entraînement électronique synchronisé à sec

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Ces engrenages non lubrifiés sont sans contact

en fonctionnement

Vide 99% sec* !

•graisse inerte synthétique (base ester) des 4 roulements:(Klüber Asonic HQ 72-102 selon directive 91/155 CEE normes DIN EN 1672-2 , GMP et HACCP , USDA H2)

Compatibilités alimentaire, cosmétique et pharmaceutique


1998 à 2003 :2 variateurs de fréquence


SIHIdry : Entraînement électronique

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Depuis 2003 :électronique de puissance compacte


Compression & température

SIHIdry : Compression interne de type “polytropique”:� Augmentation de la température des gaz� Echange de chaleur avec extérieur

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Pumping Technology For A Better FutureP

uiss

ance

abs

orbé

e

Compression et puissance absorbéeSelon taux de compression internes

Pompe parfaite compression interne progressive

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Pui

ssan

ce a

bsor

bée

Pompe parfaite compression interne progressive


SIHIdry :Vis à double pas et à pas variable

Compression à vis SIHI dry

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160 m³/h 250 m³/h 400 m³/h


SIHIdry :Vis à double pas pour diminuer forces sur arbres et éviter trous d’équilibrage


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Exemple technologie à simple pas


Pas large pour débit Pas large pour débit important à l’aspirationimportant à l’aspiration

Pas variable en continu Pas variable en continu pour puissance réduite pour puissance réduite


SIHIdry :Vis à pas variable

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pour puissance réduite pour puissance réduite et élévation températureet élévation température

limitéelimitée

Pas fin au refoulement pour taux Pas fin au refoulement pour taux de compression élevé de compression élevé

et vide poussé et vide poussé

1500 m³/h // 10-3 hPa


Double enveloppe

Ré-injection incondensables S1000)

Principe de refroidissement pompe SIHI dry

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Refroidissement interne vis (série H)


Double enveloppe + refroidissement vis + refroidisseu r de gaz

Modes de refroidissement des pompes SIHI dry

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Tgaz TgazTgaz


Jeux internes larges

� Pour les applications avec des gaz chargés: CVD, CVI,

nanomatériaux…

� Pour éviter l’usure

� Pour pallier les pertes de charge du filtre à particules

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� Pour pallier les pertes de charge du filtre à particules

Jeux de 0.15 à 0.25 mm à froid


Vitesses élevées pour performances en vide

� Vitesses de 5 500 tr/mn à 12 000 tr/mn

� Débit et vide proportionnels à la vitesse

� Jeux réduits à chaud : compression maximale

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Courbes de débit SIHI dry V250 à V400

Puissance réduite à "haute" pression

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Vide poussé


Courbes de débit SIHI dry S160 à S1000

Puissance élevée à "haute" pression

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Vide poussé selon profils de vis et vitesses


Courbes de débit SIHI dry V1500-S1000

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Régulation de pression du procédé par variation de fréquence

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�Le débit nécessaire peut être ajusté selon les beso ins réels

�La puissance consommée est réduite au minimum néces saire


V250

V400

V1500

S160

S400

S630

S1000

Pompe Primaire

Montage sur skid avec Roots

Systèmes avec Roots

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Débit de 80 à 4.000 m³/hVide de 10 -4 mbar à Atm.

S1000

Ex SD40000,1

1

10

100

1000

10000

Suc

tion

capa

city

[m³/h

]

PL SIHIdry , January 2005


Exemple de groupe SIHI dry & Roots

Roots à vitesse variable :

� - encombrant

� + léger

� + performant

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Conformités de fabrication:

� Directive machines 2006/42/CE

� Compatibilité électromagnétique 2004/108/CEM

� ATEX 94/9/CE

Et : EN 1012-2, DIN EN ISO 12100-1, DIN EN ISO 12100-2, EN 1127-1, EN 50014, EN 50016, EN 13463-1


Faible niveau de bruit (54 dBA à 74 dBA)

Comment ?

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Suppression des sources de bruit, par conception:� des garnitures mécaniques� de la boite d’engrenage� de l’accouplement � du moteur ventilé


Faible niveau de vibrations

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Pumping Technology For A Better FutureConvivialité d’utilisation

Commande locale sur écran tactile de la pompe

Commande centralisée sur écran tactile pour plusieurs

pompes

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Pumping Technology For A Better FutureConvivialité d’utilisation

Exemple synoptique contrôle commande

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Pumping Technology For A Better FutureApplications SIHI dry

� Métallurgie, Traitements thermiques

� Dépôts sous vide de couches minces

� Croissance cristalline, Photovoltaïque

� Électronique, Lasers, R&D

� Stérilisation

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� Stérilisation

� Lyophilisation

� Dégazage

� Imprégnation, séchage

� Transport sous vide

� Remplissage & recyclage de gaz

� Vide centralisé

� et beaucoup d’autres…


SIHIdry 11 SD4000-2500 CEA Laser MEGAJOULE

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SIHIdry

Merci de votre attention!

SIHILA POMPE A VIDE (PRIMAIRE)

ENTIÈREMENT SECHE !

Mercredi 29 Septembre 2010IEMN Lille

Guy GIBOURDEL

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