The Pioneer for Sheet resistance/Resistivity measurement A global leading company for resistivity measurement system. Si Resistivity Reference Wafer : NRW Series シリコン 抵抗率 基準ウエハ : NRW シリーズ ・材質:シリコン ・製造方法:FZ法 ・表面仕上げ:ラップ ・結晶方向:(1-1-1) ± 1 deg. ・ドーピング:N型(リン) ・ウエハサイズ:Φ100mm(4インチ) ・ウエハ厚さ:*抵抗率タイプにより 異なります。裏面の表をご参照下さい。 特長 共通仕様 NRWシリーズは、抵抗測定のリーディング カンパニーであるナプソンの厳正な測定基準 により、抵抗率評価/証明された、基準シリコ ンウエハです。 中性子照射された安定性に優れたウエハを使用 しています。 ナプソンの4探針法抵抗測定装置は、抵抗率 スタンダードウエハ(NIST, VLSI)により校正 されており、また下記のSEMIスタンダード、 日本工業規格(JIS)および米国材料試験協会 (ASTM)により定められた規格に準拠してい ます。 [SEMIスタンダード(SEMIl Standards)] SEMI-MF43-99, SEMI-MF374-02, SEMI-MF84-02, SEMI-MF1529-02 準拠規格 [日本工業規格(Japan Industrial Standards)] JIS-H-0602-1995 [米国材料試験協会 (American Society for Testing and Materials)] ASTM-F-84-99(SEMI-MF84), ASTM-F-374-00a, ASTM-F-390-11, ASTM-F-1529-97
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T h e P i o n e e rfo r S h e et re s i s t a n c e / Re s i s t i v i t y m e a s u re m e nt
A g l o b a l l e a d i n g c o m p a n y f o r r e s i s t i v i t y m e a s u r e m e n t s y s t e m .