Top Banner
http://www.eet.bme.hu Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok http://www.eet.bme.hu/~poppe/miel/hu/04-dioda1.ppt
20

No Slide Titleender/eet_ebook/BMEVIEEA306/04-dioda1.pdf · 2012. 4. 3. · Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306

Feb 10, 2021

Download

Documents

dariahiddleston
Welcome message from author
This document is posted to help you gain knowledge. Please leave a comment to let me know what you think about it! Share it to your friends and learn new things together.
Transcript
  • http://www.eet.bme.hu

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi EgyetemElektronikus Eszközök Tanszéke

    MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306

    A pn

    átmenet működése: Sztatikus viszonyok http://www.eet.bme.hu/~poppe/miel/hu/04-dioda1.ppt

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 2

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A félvezető dióda

    ► Amit eddig tanultunk róla► Hogy

    készül?

    ► Hogy műküdik?

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 3

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Diódák –

    amit eddig tanultunk ► …dióda egy félvezetőgyártó

    adatlapján:

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 4

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A dióda fontosabb tulajdonságaiEgyenirányít!

    Záró

    tartomány(reverse)

    I ~ 10-12

    A/mm2(Si, T=300 K)

    Nyitó

    tartomány(forward)

    I ~ exp(U/UT

    )

    A karakterisztika fogalma

    I = f(U)stacionárius

    VF

    ≈0.7 V

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 5

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A dióda fontosabb tulajdonságaiSzimbólum, mérőirány

    UI

    A

    K

    p

    n

    anód

    katód

    UF

    vagy VF

    nyitó

    feszültség (forward voltage)

    IF

    nyitó

    áram (forward current)

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 6

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A dióda fontosabb tulajdonságaiDinamikus

    tulajdonságok:

    kapacitás, véges működési

    sebesség

    Másodlagos

    jelenségek

    például: "letörés"

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 7

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A dióda kivitele

    Kiindulás: Si egykristály

    szeletOxidálás, ablaknyitás, n diffúzió, fémezésDarabolás, felforrasztás, tokozás

    "pn junction"

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 8

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A dióda kivitele

    adalékprofil

    Adalékprofil:

    adaléksűrűség a mélység

    függvényében

    metallurgiai átmenet

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 9

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Vizsgálati módszerünk1. Egydimenziós

    vizsgálat, “kihasított

    hasáb”

    2. Homogén

    adalékolás, “abrupt”

    profil

    3. Egyik

    oldal

    erősebbenadalékolt(legyen

    ez

    az

    n oldal) Nd

    >> Na

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 10

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Két külön darab:► Fermi szintek az intrinsic szinthez képest az

    adalékolásnak megfelelően eltolódnak:

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 11

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    PN átmenet► A P és az N oldal között potenciál lépcső

    alakul ki.

    Ez pont akkora lesz, hogy kiegyenlítődjön a Fermi- szint

    Mindkét

    oldal

    többségi

    hordozói

    áramolnak

    a túloldal

    felé,

    amíg

    a Fermi-szint

    ki

    nem

    egyenlítődik.

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 12

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Elektrosztatikus viszonyok

    Kiürített

    rétegek

    (tértöltés

    rétegek): töltés

    kettősréteg

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 13

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    UUU Dnp −=UUUUUUU

    pffnnp

    pffnD

    −=++

    =++ 0

    Érintkezési és diffúziós potenciál

    A huroktörvény értelmében:

    Ufn

    fém –

    n-Si kontakt potenciálUD

    diffúziós potenciál a p és n oldal közöttUpf

    p-Si –

    fém kontakt potenciál

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 14

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A diffúziós potenciál számítása

    ⎟⎠⎞

    ⎜⎝⎛ −=

    kTWWnn inFin exp

    i

    ninF n

    nkTWW ln=−

    i

    pipF n

    nkTWW ln=−

    nn

    , pn

    pp, np

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 15

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A diffúziós potenciál számításai

    ninF n

    nkTWW ln=−

    i

    pipF n

    nkTWW ln=−

    2lni

    adTD n

    NNUU =„beépített”

    potenciál„built-in”

    voltage

    p

    ninip n

    nkTWW ln=−

    2lnlni

    pn

    p

    nipinD n

    pnq

    kTnn

    qkT

    qWW

    U ==−

    −=

    pip pnn /2=

    tömeghatás tv.

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 16

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    A diffúziós potenciál számítása2lni

    adTD n

    NNUU =

    PÉLDA Egy

    abrupt Si dióda

    adalék

    adatai:Nd

    =1018/cm3, Na

    =1016/cm3.Határozzuk

    meg a diffúziós potenciál értékét

    szobahőmérsékleten!

    VUD 838.010ln026.0101010ln026.0 1420

    1618

    =⋅⋅

    ⋅=

    Nyilván

    UD < Ug, , általában 70-80 %-a.

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 17

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Számítások a kiürített rétegre

    p

    n

    d

    a

    SS

    NN

    =

    A gyengébben adalékolt

    oldalon

    szélesebb

    a kiürített réteg.

    apdn NSqNSq =

    A két töltés egyenlő

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 18

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Számítások a kiürített rétegre

    ερ

    =dxdE

    dxdUE −=

    pa SNqE

    ε=max

    ( ) ppnnp SESSEU maxmax 21

    21

    ≅+=

    2

    21

    pa

    np SNqUε

    =

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 19

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Számítások a kiürített rétegre 2

    21

    pa

    np SNqUε

    =

    pa SNqE

    ε=max

    UUNq

    UNq

    S Da

    npa

    p −==εε 22

    pd

    an SN

    NS =

    UUNqUUNq

    NqE DaDa

    a −=−=ε

    εε

    22max

  • 2011-09-23 Mikroelektronika - A pn átmenet működése: Sztatikus viszonyok © Poppe András & Székely Vladimír, BME-EET 2008-2011 20

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem

    Elektronikus Eszközök Tanszéke

    Számítások a kiürített rétegre UU

    NqU

    NqS D

    anp

    ap −==

    εε 22p

    d

    an SN

    NS =

    PÉLDA Egy

    abrupt Si dióda

    adalék

    adatai:Nd

    =1018/cm3, Na

    =1016/cm3.Határozzuk

    meg a kiürített rétegek szélességét!

    (εr

    =11,8, U=0V)

    mS p μ331,0838,010106,11086,88,112

    2219

    12

    =⋅⋅⋅⋅⋅

    = −−

    mSn μ003,0=

    És ha U= -100V ?

    mS p μ63,3838,0100838,0331,0 =+⋅=

    MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306A félvezető dióda Diódák – amit eddig tanultunk A dióda fontosabb tulajdonságaiA dióda fontosabb tulajdonságaiA dióda fontosabb tulajdonságaiA dióda kiviteleA dióda kivitele – adalékprofilVizsgálati módszerünkKét külön darab:PN átmenetElektrosztatikus viszonyokÉrintkezési és diffúziós potenciálA diffúziós potenciál számításaA diffúziós potenciál számításaA diffúziós potenciál számításaSzámítások a kiürített rétegre Számítások a kiürített rétegre Számítások a kiürített rétegre Számítások a kiürített rétegre