Slide 1 Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung Grundlagen Grundlagen Mikro- und Nanosysteme Mikro- und Nanosysteme Mikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und Medizin Mikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und Medizin Mikrofabrikation - Einführung Mikrofabrikation - Einführung Dr. Marc R. Dusseiller Dr. Marc R. Dusseiller
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Slide 1Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung
Grundlagen Grundlagen Mikro- und NanosystemeMikro- und Nanosysteme
Mikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und MedizinMikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und Medizin
Von der Photographie zur PhotolithographieVon der Photographie zur Photolithographie
1826 1826 Niépce macht die erste Kopie eines Kupferstichs von macht die erste Kopie eines Kupferstichs von Cardinal d’AmboiseCardinal d’Amboise
Erste Anwendung. Einmaliger Strukturtransfer durch Camera Erste Anwendung. Einmaliger Strukturtransfer durch Camera Obscura, Belichtung und chemischem ÄtzenObscura, Belichtung und chemischem Ätzen
Auflösung 0.5 – 1 mm !!!Auflösung 0.5 – 1 mm !!!
1839 Daguerre, Weiterentwicklung und wiss. Anerkennung 1839 Daguerre, Weiterentwicklung und wiss. Anerkennung der Photographie, versilberte Kupferplatten, unikateder Photographie, versilberte Kupferplatten, unikate
Gleichzeitig auch Talbot, Wedgwood und andere arbeiten mit Gleichzeitig auch Talbot, Wedgwood und andere arbeiten mit lichtempfindlichen Silbersalzen auf Papier und Leder. lichtempfindlichen Silbersalzen auf Papier und Leder. Photogenetische Zeichnungen. Negativ-Positiv. Photogenetische Zeichnungen. Negativ-Positiv. VervielfältigungenVervielfältigungen
1855 Abel Niepce und Lemaître entwickeln die Heliagravuren1855 Abel Niepce und Lemaître entwickeln die Heliagravuren
100 Jahre später werden erste elektrische Schaltkreise in 100 Jahre später werden erste elektrische Schaltkreise in Kupfer so transferiert und geätztKupfer so transferiert und geätzt
1957 erste Planare Transistoren1957 erste Planare Transistoren
1958 erste Integrierte Schaltkreise (ICs)1958 erste Integrierte Schaltkreise (ICs)
1962 erster piezo-mechanische Elemente auf Siliziumchips1962 erster piezo-mechanische Elemente auf Siliziumchips
Moore‘s Law besagt, dass die Anzahl Moore‘s Law besagt, dass die Anzahl billig plazierbarer Transistoren auf billig plazierbarer Transistoren auf einem Prozessor sich alle 2 Jahre einem Prozessor sich alle 2 Jahre verdoppelt. D.h. es gibt eine verdoppelt. D.h. es gibt eine exponentielle Entwicklung.exponentielle Entwicklung.
Moore‘s Law wurde angewandt auf die Moore‘s Law wurde angewandt auf die Transistoren in einem Prozessor. Transistoren in einem Prozessor. Galt aber schon länger.Galt aber schon länger.
Neue Paradigmen führen zur Neue Paradigmen führen zur weiterentwicklung und weiterentwicklung und Beschleunigung des Beschleunigung des technologischen Fortschrittstechnologischen Fortschritts
Die nächsten Paradigmen sollten bald Die nächsten Paradigmen sollten bald kommen, damit dieser Trend kommen, damit dieser Trend weitergeht.weitergeht.
Slide 10Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung
Lineare Skala und Logarithmische SkalaLineare Skala und Logarithmische Skala
Vielen kleine Blöcke führen zu Vielen kleine Blöcke führen zu komplexeren Systemen mit komplexeren Systemen mit emergenten Eigenschaftenemergenten Eigenschaften