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Transcript
Construcción del sistema para deposición de materiales Magnetrón sputtering
9HQWDQDGH&XDU] R ( QWUDGD6DOLGD
GHVXEVWUDWRV
) XHQWH&' SXOVDGD
) XHQWH&$ ELSRODUSXOVDGD
5 HDFWRU
0 DJQHWUyQ
6SXWWHULQJ
6RQGD GH$ OWR 9ROWDMH
6HQVRU GHSUHVLyQ
%RP ED 7XUERP ROHFXODU
&RQWURODGRU GHSUHVLyQ
9i OYXOD
9i OYXOD
9i OYXOD
Exterior Interior
Cátodo
Imanes
3ODVP D 6HQVRUGH
3UHVLyQ
&RQWURODGRU
ÈQRGR
/ HQWHV
6XEVWUDWR
,P DQHV
%ODQFRWDUJHW
&i WRGR
( VSHFWUyP HWUR
6RQGDGH ) LEUDÏ SWLFD
' LVWDQFLD $ MXVWDEOH
) XHQWH&$ ELSRODUSXOVDGD
%RP ED 0 HFi QLFD
%RP ED 7XUERP ROHFXODU
5 HDFWRU0 DJQHWUyQ 6SXWWHULQJ
4 4
9 ' 9 ' vd
id
& 9
/ 7
$U
2
0 HFDQLVP RSDUD GHVSOD] DUHOi QRGR
9HQWDQD GHFXDU] R
/ tQHDVHVSHFWUDOHV
Diagrama a bloques del sistema Magnetrón sputtering en modo reactivo
Tipos de fuentes para magnetrón sputtering
$ U
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9
9-
H- H-
H-
H-
H-
%ODQFRWDUJHW %ODQFRWDUJHW
6SXWWHULQJ 1 RUP DO
/ LP SLH] D GHFDUJDV
) XHQWH&' SXOVDGD
Fuente CD bipolar pulsadaFuente CA bipolar pulsada (Safi y Colaboradores)
Magnetrón sputtering de alto impulsoHIPIMS o HPPMS
Fuente AC Bipolar Pulsada
Desarrolladas en esta investigación
DC bipolar pulsa
9R
OWDM
HN9
-
-
7LHP SR V
- -
-
-
7LHP SR V
9R
OWD
MHN
9
-
-
-
- -
Fuente CA bipolar pulsada para Magnetrón Sputtering