1 Fotolitog Fotolitog ráfia ráfia MFA Nyári MFA Nyári Iskola 2013 Iskola 2013 FOTOLITOGRÁFIA FOTOLITOGRÁFIA Ábrakialakítás vékony SiO Ábrakialakítás vékony SiO 2 rétegben rétegben Nemcsok Anna Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza) Témavezető: Csikósné Dr Pap Andrea Edit
11
Embed
FOTOLITOGRÁFIA Ábrakialakítás vékony SiO 2 rétegben Nemcsok Anna
FOTOLITOGRÁFIA Ábrakialakítás vékony SiO 2 rétegben Nemcsok Anna Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza) Témavezető: Csikósné Dr Pap Andrea Edit. MEMS = Micro-Electro-Mechanical Systems Si felületi és tömbi megmunkálása nagy tisztaságú térben - PowerPoint PPT Presentation
Welcome message from author
This document is posted to help you gain knowledge. Please leave a comment to let me know what you think about it! Share it to your friends and learn new things together.
Transcript
11Fotolitográfia Fotolitográfia
MFA Nyári Iskola 2013 MFA Nyári Iskola 2013
FOTOLITOGRÁFIAFOTOLITOGRÁFIAÁbrakialakítás vékony SiOÁbrakialakítás vékony SiO22 rétegben rétegben
Nemcsok Anna
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Témavezető: Csikósné Dr Pap Andrea Edit
22Fotolitográfia Fotolitográfia
MFA Nyári Iskola 2013 MFA Nyári Iskola 2013
MEMS = Micro-Electro-Mechanical SystemsMEMS = Micro-Electro-Mechanical Systems•Si felületi és tömbi megmunkálása nagy tisztaságú térben•3D eszközök kialakítása pl. gázérzékelők, erőmérők, tapintás érzékelő, fluidikai eszközök, stb.•rendkívül sok technológiai lépés, eljárás egymás utáni alkalmazása pl. rétegleválasztás, fotolitográfia, nedves és száraz kémiai marások, ion-implantálás, magas hőmérsékletű oxidáció, stb.
Vékony oxidban kialakított kész ábrákVékony oxidban kialakított kész ábrák
1 23
4 5
6
1111Fotolitográfia Fotolitográfia
MFA Nyári Iskola 2013 MFA Nyári Iskola 2013
KÖSZÖNÖM A FIGYELMET!KÖSZÖNÖM A FIGYELMET!
Köszönet Köszönet •az MFA Nyári Iskola szervezőinek a az MFA Nyári Iskola szervezőinek a lehetőségért,lehetőségért,•a MEMS Laboratórium a MEMS Laboratórium munkatársainak a fogadtatásért.munkatársainak a fogadtatásért.
Külön köszönöm Payer Károlyné Külön köszönöm Payer Károlyné Margitkának a lelkes és mindenre Margitkának a lelkes és mindenre kiterjedő segítségét.kiterjedő segítségét.