メカニカルステージ／自動ステージ／顕微鏡用自動化製品 ...CONTACT [東京]TEL：03(3257)1911・FAX：03(3257)1915 [大阪]TEL：06(6306)1911・FAX：06(6306)1912

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ユニット製品総合カタログ 38号222



パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ

フォーカシング

ユニット

オートフォーカス

顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

メカニカルステージ／自動ステージ／顕微鏡用自動化製品／顕微鏡用XYステージ

マイクロスキャニングステージ（MSS）一覧移動量製品イメージ写真製品番号ページ

50㎜×50㎜

MSS-50C-OA

224MSS-50C-OB

MSS-50C-NA

100㎜×50㎜

MSS-50WC-OA

226MSS-50WC-OB

MSS-50WC-NA

150㎜×150㎜

MSS-150C

228

MSS-150C-OA

MSS-150C-NA

MSS-150C-NB

MSS-150C-NC

200㎜×200㎜

MSS-200C

230

MSS-200C-NA

MSS-H200A 234

300㎜×300㎜

MSS-300C

232

MSS-300C-NA

MSS-H300A 234


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ユニット製品総合カタログ 38号 223

パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


マイクロスキャニングステージ（MSS）オプション一覧概略仕様、特長など製品イメージ写真製品番号ページ

ウェハホルダ3インチ～300㎜用

MSS-150A-4WH

238

MSS-150A-6WH

MSS-200A-4WH

MSS-200A-6WH

MSS-200A-8WH

MSS-300A-30WH

ガラスプレートMSS-50C～MSS-300C用アルミプレートと入れ替えることで透過照明に対応可能です。

MSS-50A-GP

238

MSS-50WA-GP

MSS-150A-GP

MSS-200A-GP

MSS-300A-GP

アルミプレートMSS-50C～MSS-300C標準付属品

MSS-50A-AL

238

MSS-50WA-AL

MSS-150A-AL

MSS-200A-AL

MSS-300A-AL

■ 顕微鏡用自動化製品仕様例、特注例

レーザーリペア装置の試料台にマッピング装置の試料台に

QT-AK3

特注例

　ウェハ用バキュームチャック

特注例

　マスクホルダ

QT-AMH2(K)マイクロスキャニングステージの推奨コントローラドライバスムースドライブ機能により低振動駆動が可能。顕微鏡観察のコントローラドライバに最適です。






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


マイクロスキャニングステージ V - C R方　　式

MSS-50C

製品番号対応顕微鏡MSS-50C-OA オリンパス BH2

MSS-50C-OB オリンパス BX40、BX41M-LED、BX51、BX61M、BX60、BX61

MSS-50C-NA ニコンオプチフォト100S、エクリプスME600

移動量50㎜×50㎜の薄型軽量ステージです。

顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。

標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

製品番号 MSS-50C-OA MSS-50C-OB MSS-50C-NA製品名マイクロスキャニングステージ価格 ¥700,000 ¥700,000 ¥700,000移動方向 XY軸2方向移動量 ±25㎜ステージ面 155㎜×155㎜使用モータ PK523HPA相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）分解能 0.002㎜送りねじ仕様ボールねじ送りねじリード 1㎜移動ガイド V溝とクロスローラ移動精度真直度0.008㎜（水平・垂直）位置決め精度（1/10ストローク） X軸0.005㎜、Y軸0.005㎜位置決め精度（フルストローク） X軸0.020㎜、Y軸0.010㎜繰り返し精度 ±0.002㎜ロストモーション 0.002㎜耐荷重 29.4N（3kgf）質量 2.7㎏（アルミプレートを除く）最高速度（8,000pps時） 16㎜ /s主要材質／表面処理アルミ合金／黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサリミットセンサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3標準付属品アルミプレートRoHS指令対応状況

※末尾-OA、-OB、-NAの製品には顕微鏡対応アダプタが付属します。

※掲載製品の外観図面（2D/3D）データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。

顕微鏡との組み合わせ使用例オリンパス写真はMSS-300C

顕微鏡との組み合わせ使用例ニコン写真はMSS-200C-NA





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

ステッピングモータ


　ニコンφ95丸アリ用アダプタ付

φ95

6

80.535 30 15.5

X軸手動ハンドル

取付ねじ 5

4-R10

Y軸手動ハンドル

コネクタ

21 155 46 40

221

21200

14.5

155

42100 92

φ66

110アルミプレート　

水平調整用ねじ(3ヶ所)

100

110 5

オリンパスφ90丸アリ用アダプタ付

φ90

φ107

X軸→

←Y軸

接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ

センサ動作倫理とタイミングチャート

ACB-STM2（1.5m）

ACB-STM-D3（3m）

切り離し

ACB-STM3（3m）

接続ケーブル

コントローラ・ドライバ

オリエンタルモーター（株）社製のドライバなど

ステージ側

MSS-50C






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ



MSS-50WC




製品番号 MSS-50WC-OA MSS-50WC-OB MSS-50WC-NA製品名マイクロスキャニングステージ価格 ¥800,000 ¥800,000 ¥800,000移動方向 XY軸2方向移動量 X軸±50㎜、Y軸±25㎜ステージ面 205㎜×155㎜使用モータ PK523HPA相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）分解能 0.002㎜送りねじ仕様ボールねじ送りねじリード 1㎜移動ガイド V溝とクロスローラ移動精度真直度0.010㎜（水平）、0.015㎜（垂直）位置決め精度（1/10ストローク） X軸0.010㎜、Y軸0.005㎜位置決め精度（フルストローク） X軸0.040㎜、Y軸0.010㎜繰り返し精度 ±0.002㎜ロストモーション 0.002㎜耐荷重 29.4N（3kgf）質量 3.3㎏（アルミプレートを除く）最高速度（8,000pps時） 16㎜ /s主要材質／表面処理アルミ合金／黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサリミットセンサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3標準付属品アルミプレートRoHS指令対応状況

製品番号対応顕微鏡MSS-50WC-OA オリンパス BH2

MSS-50WC-OB オリンパス BX40、BX41M-LED、BX51、BX61M、BX60、BX61

MSS-50WC-NA ニコンオプチフォト100S、エクリプスME600

※末尾-OA、-OB、-NAの製品には顕微鏡対応アダプタが付属します。


顕微鏡との組み合わせ使用例オリンパス写真はMSS-300C

顕微鏡との組み合わせ使用例ニコン写真はMSS-200C-NA





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


MSS-50WC

製品の外観図

コネクタ

4214.5

92100

160



21

21

205

X軸手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

取付ねじ 5

Y軸手動ハンドル46

155

200

221

40

6

30 15.53580.5

ニコンφ95丸アリ用アダプタ付

φ95


φ90


φ107

アルミプレート


5

100

160

X軸→

←Y軸



ACB-STM2（1.5m）

ACB-STM-D3（3m）

切り離し

ACB-STM3（3m）

接続ケーブル



ステージ側






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ



MSS-150C

6インチ対応の移動量150㎜×150㎜の薄型軽量ステージです。



製品番号 MSS-150C MSS-150C-OA MSS-150C-NA MSS-150C-NB MSS-150C-NC製品名マイクロスキャニングステージ価格 ¥1,100,000 ¥1,100,000 ¥1,100,000 ¥1,100,000 ¥1,100,000移動方向 XY軸2方向移動量 ±75㎜ステージ面 280㎜×230㎜使用モータ PK523HPA相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）分解能 0.002㎜送りねじリード 1㎜移動ガイド V溝とクロスローラ移動精度真直度0.010㎜（水平）、0.015㎜（垂直）位置決め精度（1/10ストローク） X軸0.010㎜、Y軸0.010㎜位置決め精度（フルストローク） X軸0.030㎜、Y軸0.030㎜繰り返し精度 ±0.002㎜ロストモーション 0.003㎜耐荷重 49N（5kgf）質量 5.1㎏（アルミプレートを除く）最高速度（8,000pps時） 16㎜ /s主要材質／表面処理アルミ合金／黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサリミットセンサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3標準付属品アルミプレートRoHS指令対応状況

製品番号対応顕微鏡

MSS-150Cオリンパス MX50、MX61、MX61L、

MX80

ニコンオプチフォト150、エクリプスL150

MSS-150C-OA オリンパス MX40、MX51MSS-150C-NA ニコンエクリプス L150/LV150AMSS-150C-NB ニコンエクリプス LV100DMSS-150C-NC ニコンエクリプス L200/L200A

センサ動作倫理とタイミングチャート接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ



ステージ側ACB-STM2（1.5m）

ACB-STM-D3（3m）

切り離し

ACB-STM3（3m）

接続ケーブル

※末尾-OA、-NA、-NB、-NCの製品には顕微鏡対応アダプタが　付属します。

メカストッパ

原点センサ

CCWリミット

CWリミット

CW方向（反モータ側） CCW方向（モータ側）

遮光時（5V）；検出入光時（0V）遮光時（5V）；検出入光時（0V）遮光時（5V）；検出入光時（0V）

CW CCW端面原点

リミットメカ

リミットメカ

リミットリミット反端面原点

CWリミットフォトセンサ（N.C.）原点センサフォトセンサ（N.C.） CCWリミットフォトセンサ（N.C.）


顕微鏡との組み合わせ使用例





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

X軸→

←Y軸

アルミプレート　水平調整用ねじ(3ヶ所)

5

190

210

681233.522.5

6

4-M4 深114-M6 深11

140

130

11096 4-4.5キリ、7.5深ザグリ深4.5

46 Y軸手動ハンドル　

コネクタ位置変更可能

5


コネクタステッピングモータ


2801

4-R10

90

210134

296

46250

190

25230

20

107

←Y軸

X軸→

MSS-150C

12

ニコンエクリプス L200 用スペーサ

φ140

4-M44-7キリ、11深ザグリ深7

174

130

90

180134110

8

15013470

9094110 φ90

ニコンエクリフ°ス LV150/LV150A 用スヘ°ーサ

4-4.5キリ, 7.5深ザグリ深サ4.54-M4

MSS-150C-NA 付属スペーサ

MSS-150C-NC 付属スペーサ

顕微鏡奥方向

顕微鏡手前方向

24

8736.5

102

オリンパス MX40/MX51 用スペーサ

76134

6.5

154

8

4-M4通シ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ深サ4.5

15

1.5

110

9071

26

φ45

55122

82

4-4.5キリ4-M4

ステージ取付面9094140

φ90

15013411870

ニコンエクリプス LV100D、LV100D-U 用スペーサ

MSS-150C-NB 付属スペーサ

MSS-150C-OA 付属スペーサ






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ



MSS-200C

8インチ対応の移動量200㎜×200㎜の薄型軽量ステージです。



製品番号 MSS-200C MSS-200C-NA製品名マイクロスキャニングステージ価格 ¥1,300,000 ¥1,300,000移動方向 XY軸2方向移動量 ±100㎜ステージ面 355㎜×305㎜使用モータ PK523HPA相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）分解能 0.002㎜送りねじ仕様ボールねじ送りねじリード 1㎜移動ガイド V溝とクロスローラ移動精度真直度0.010㎜（水平）、0.025㎜（垂直）位置決め精度（1/10ストローク） X軸0.015㎜、Y軸0.015㎜位置決め精度（フルストローク） X軸0.060㎜、Y軸0.050㎜繰り返し精度 ±0.002㎜ロストモーション 0.003㎜耐荷重 49N（5kgf）質量 7.3㎏（アルミプレートを除く）最高速度（8,000pps時） 16㎜ /s主要材質／表面処理アルミ合金／黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサリミットセンサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3標準付属品アルミプレートRoHS指令対応状況

製品番号対応顕微鏡

MSS-200Cオリンパス MX50、MX61、MX61A、M

X61L、MX80ニコンオプチフォト200

MSS-200C-NA ニコンエクリプスL200/L200A/L200D/L200N/L200ND

※末尾-NAの製品には顕微鏡対応アダプタが付属します。








パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

←Y軸

X軸→

250

5270

4

6

681233.522.5

水平調整用ねじ(3ヶ所)アルミプレート　

5

4-R15

4-4.5キリ、7.5深ザグリ深4.54-7キリ、11深ザグリ深6.5

φ140

371

46325

130

305

20250

30

145

90

46355

270134110


コネクタステッピングモータ

Y軸手動ハンドル

ステッピングモータX軸手動ハンドル

←Y軸

X軸→

MSS-200C

12キリ、11深ザグリ深74-M4


90130

174

110134180

φ140



ACB-STM2（1.5m）

ACB-STM-D3（3m）

切り離し

ACB-STM3（3m）

接続ケーブル



ステージ側






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ



MSS-300C




製品番号 MSS-300C MSS-300C-NA製品名マイクロスキャニングステージ価格 ¥1,800,000 ¥1,800,000移動方向 XY軸2方向移動量 ±150㎜ステージ面 460㎜×405㎜使用モータ PK525HPA相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）分解能 0.002㎜送りねじ仕様ボールねじ送りねじリード 1㎜移動ガイド V溝とクロスローラ位置決め精度（1/10ストローク） X軸0.040㎜、Y軸0.040㎜位置決め精度（フルストローク） X軸0.120㎜、Y軸0.10㎜繰り返し精度 ±0.002㎜ロストモーション 0.003㎜耐荷重 49N（5kgf）質量 10.3㎏（アルミプレートを除く）最高速度（8,000pps時） 16㎜ /s主要材質／表面処理アルミ合金／黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサリミットセンサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3標準付属品アルミプレートRoHS指令対応状況

製品番号対応顕微鏡MSS-300C オリンパス MX61A、MX61L、MX80

MSS-300C-NA ニコンオプチフォト300、エクリプスL300/L300D

※末尾-NAの製品には顕微鏡対応アダプタが付属します。








パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

←Y軸

X軸→

6

4

22.533.512685

345

370

アルミプレート


5


コネクタ


φ140

134110

20 30188

90

4-4.5キリ、7.5深ザグリ深4.54-7キリ、11深ザグリ深6.5

370

Y軸手動ハンドル59.5


46


460

471

425

405

345

X軸→

←Y軸

MSS-300C

124-M4

4-7キリ、11深ザグリ深7


130

90174

φ140

180134110



ACB-STM2（1.5m）

ACB-STM-D3（3m）

切り離し

ACB-STM3（3m）

接続ケーブル



ステージ側






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


V - C R方　　式

マイクロスキャニングステージ

MSS-H200A

FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。

高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150㎜×150㎜内のワークパターン約1万箇所の全数検査範

囲を約17分で走査可能です。

繰り返し精度±0.002㎜のため、高倍率顕微鏡視野内（約φ0.1㎜）の位置再現性も十分にあります。

当社製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。

製品番号 MSS-H200AD MSS-H300AD製品名マイクロスキャニングステージ価格￥1,700,000 ￥2,200,000周囲温度／湿度 10～40℃／ 20～80%（非結露）RoHS指令対応状況

■ ステージ仕様製品番号 MSS-H200A MSS-H300A移動方向 XY軸2方向移動量 ±100㎜ ±150㎜ステージ面 356㎜×356㎜ 490㎜×490㎜使用モータ ARM46AC相当（αステップモータ）分解能 0.002㎜送りねじリード 2㎜移動ガイド V溝とクロスローラ移動精度真直度0.010㎜（水平）、0.025㎜（垂直）－位置決め精度（1/10ストローク） X軸0.015㎜、Y軸0.015㎜ X軸0.040㎜、Y軸0.040㎜位置決め精度（フルストローク） X軸0.060㎜、Y軸0.050㎜ X軸0.120㎜、Y軸0.100㎜繰り返し精度 ±0.002㎜ロストモーション 0.003㎜耐荷重 49N（5㎏）質量約15㎏約30㎏最高速度（50,000pps時） 100㎜ /s主要材質／表面処理アルミ合金／黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサリミットセンサノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ

■ ドライバ仕様製品番号 QT-ARD2入力電源 AC100～115V　50/60㎐最大6.0A外形寸法 W200㎜×D280㎜×Ｈ200㎜（突起部含まず）質量 6.0㎏駆動軸数 2軸駆動方式 2相ステッピングバイポーラ方式駆動電流 0.49A/相分解能切換 0.002㎜（初期値）、（内部スイッチにより0.004㎜、0.0004㎜、0.0002㎜切換可）

入力信号

駆動パルス　・パルス方式：2パルス方式（初期値）、（内部スイッチにより1パルス方式切換可）　・最大パルス周波数：250KHz（50%デューティー時）　・パルス電圧：+5V　・対応信号形態：オープンコレクタ、ラインドライバ

出力信号ステージセンサをスルー出力（±リミット、原点信号）適合ステージ MSS-H200A、MSS-H300A専用推奨コントローラ QT-AMH2、QT-ADM2付属ケーブル ACケーブル、センサーケーブル、モーターケーブル、QT-Aコントローラ接続用ケーブル

MSS-H300A　


※本製品はステージ、ドライバ、ケーブルがセットになっています。





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


- 20000

- 10000

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

80000

2.2 2.25 2.3 2.35 2.4

移動速度（μm/sec)

時間(秒)

通常のXYステージ高速動作初速度：1000pps、高速速度：40000pps、加減速時間：20msec

- 10000

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

70000

2.8 2.85 2.9 2.95 3

移動速度（μm/sec)

時間(秒)

MSS-Hシリーズ高速動作初速度：2000pps、高速速度：45000pps、加減速時間：22msec

速度フィルタ：A

MSS-Hシリーズの整定時間通常のXYステージの整定時間

ドライバ性能比較表　X、XYステージ駆動時

PPS（Pulse/sec）

QT-ARD2

QT-AMH2

QT-ADM2

QT-ADL1

QT-MD2

0 10,000 20,000 30,000 40,000 50,000

ドライバ性能比較表　Z、回転、傾斜ステージ駆動時

PPS（Pulse/sec）

QT-AMH2

QT-ADM2

QT-ADL1

QT-MD2

0 5,000 10,000 15,000


専用ドライバ　QT-ARD2






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


製品の外観図

125012

αｽﾃｯﾌ°ﾓｰﾀ

ｺﾈｸﾀ

35663

356

63

42

300

230

200

150

300

230250

200

76

4-M6 x 1

4-7ｷﾘ、11深ｻﾞｸﾞﾘ

4-M4 x 0.7


76

42

4-M6 x 1

350

300

200

15

4-7ｷﾘ、11深ｻﾞｸﾞﾘ深

フラットベース

350300200

φ200

φ200

MSS-H200A





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

MSS-H300A

4-M4

63490

400

200

330

300

40063 490

350330300

4-7ｷﾘ、11深ｻﾞｸﾞﾘ

4-M6 x 1


42


ｺﾈｸﾀ

68

76

42

1260

12

450

400

300

4-M6

20400450

300

4-7ｷﾘ,11深ｻﾞｸﾞﾘ

フラットベース

φ300φ300






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


ウェハホルダ／ガラスプレート／アルミプレート

MSS-WH MSS-GP MSS-AL

〔▼ウェハホルダ〕製品番号製品名価格MSS-150A-4WH ウェハホルダ 3,4インチ用￥43,000MSS-150A-6WH ウェハホルダ 4,5,6インチ用￥45,000MSS-200A-4WH ウェハホルダ 3,4インチ用￥48,000MSS-200A-6WH ウェハホルダ 4,5,6インチ用￥50,000MSS-200A-8WH ウェハホルダ 6,8インチ用￥55,000MSS-300A-30WH ウェハホルダ 8インチ,300㎜用￥75,000

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共

通のウェハホルダです。

3インチから300㎜ウェハまで幅広く対応しています。

3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

特別注文にてバキュームチャックなども承ります。

〔▼ガラスプレート〕製品番号製品名価格MSS-50A-GP ガラスプレート MSS-50C用￥10,000MSS-50WA-GP ガラスプレート MSS-50WC用￥13,000MSS-150A-GP ガラスプレート MSS-150C用￥15,000MSS-200A-GP ガラスプレート MSS-200C用￥20,000MSS-300A-GP ガラスプレート MSS-300C用￥35,000


通のガラスプレートです。

標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明

に対応いたします。

〔▼アルミプレート〕製品番号製品名価格MSS-50A-AL アルミプレート MSS-50C用￥10,000MSS-50WA-AL アルミプレート MSS-50WC用￥13,000MSS-150A-AL アルミプレート MSS-150C用￥15,000MSS-200A-AL アルミプレート MSS-200C用￥20,000MSS-300A-AL アルミプレート MSS-300C用￥35,000


通の標準付属アルミプレートです。

3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

お客様のワークに合わせて追加工も別途承ります。

製品の外観図

82190

210

φ160

回転レバー

8.5(13.5)

φ151

φ126

φ101

水平調整ねじ(3ヶ所)

0.50.50.5

MSS-150A-6WH

82

210

φ110

回転レバー

13.58.5

0.5

φ101

φ77.2(3インチ)

0.5

190


MSS-150A-4WH

※SEMI規格のウェハサイズに対応しています。





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

270

φ160

回転レバー

8.513.5

φ101

φ126

φ151

250


115

0.50.50.5

MSS-200A-6WH

φ77.2(3インチ)

φ101

0.50.5

270

φ110

回転レバー

13.58.5

250

115


MSS-200A-4WH

370

φ310

回転レバー

8.5(13.5)

φ301

φ201

345

158


0.50.5

MSS-300A-30WH

270

φ220

回転レバー

13.58.5

φ201

φ151

250

115


0.50.5

MSS-200A-8WH






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


製品の外観図

160 5

100

MSS-50WA-GP

110

100

5

MSS-50A-GP

270

250

5

MSS-200A-GP

210 5

190

MSS-150A-GP

345

5370

MSS-300A-GP





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


製品の外観図

160 5

100


MSS-50WA-AL


110

100

5

MSS-50A-AL

270

250


5

MSS-200A-AL

210


190

5

MSS-150A-AL

370

345

5


MSS-300A-AL






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

メカニカルステージ／自動ステージ／顕微鏡用自動化製品／オートフォーカス顕微鏡

オートフォーカス顕微鏡（AF顕微鏡）について

　オートフォーカスといいますと、デジタルカメラ

などに使用されているものをイメージされるのが

一般的でしょう。

　デジタルカメラなどのピント合わせはカメラを構

える人がある程度動いても、被写体が多少前後して

もピントが合います。

　これは、オートフォーカスが完全に追従してい

るのではなくピントの合う範囲が広いためにオート

フォーカスがある程度合わせてくれれば、ピントが

ぼける心配がないからです。

　しかし、顕微鏡となると話が違ってきます。

　顕微鏡の対物レンズが100倍（総合倍率は1000倍

を超えます。）ともなりますと焦点深度（ピントが合う

範囲）は約0.3μm（0.0003㎜）です。

これは顕微鏡と試料の位置が、たった0.3μmずれただ

けでもピントが合わないことを意味します。

　当社のオートフォーカスはこの超微小なピントの

位置合わせを自動で行い、なおかつ試料が動いても

ピント合わせをし続け、追従するハイテクノロジー

を凝縮したユニット製品です。

カメラ

ビームスプリッタ

照明

AFパターン

ミラー

対物レンズ

ピント位置

ラインセンサ

光路差プリズムコントローラ

オートフォーカス顕微鏡各部の説明

製品のイメージ写真製品番号製品名ページ

AF-I オートフォーカス顕微鏡 244

AF-77VB オートフォーカス顕微鏡（レボルバ対応） 245

AF-RF オートフォーカス顕微鏡（ステージ昇降タイプ） 246

AF-OLS-06XY 対物スライダ 247

MSS-FMC フォーカシングユニット

248MSS-FM フォーカシングカプラ

MSS-FC フォーカシングコントローラ





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


特　長

・世界で唯一CCDラインセンサを利用した顕微鏡オートフォーカスシステムです。・反射率の高い金属面はもちろん、反射率の低い紙、フィルタなどにも対応し、ガラスや透明なプラスチックなどにも他方式にはないパフォーマンスを発揮いたします。

　高性能でありながら、苦手な試料が少ないオートフォーカスシステムです。・試料のうねりや傾きにも超高速で追従、世界最高レベルの追従性能。　新開発の2ラインセンサ方式を採用したモデルは、2m/secの速度で動く超高速ステージ上のガラス基板であっても追従し、ピントを合わせ続けることが可能です。　※対物レンズ20倍、上下変位±150μm以内の条件（大手液晶製造メーカー向け検査装置搭載実績）・マクロ～ミクロまで幅広い倍率に対応。　対物レンズ倍率0.5倍～ 150倍まで対応可能です。

オートフォーカス方式の説明

　当社のオートフォーカス顕微鏡は、主に、ラインセンサ部、AFパターン部、駆動部、コントローラ部、鏡筒部で構成されています。

　反射照明部の視野絞り位置に縞状のＡＦパターンを配置し、ワークに縞パターンを投射します。

　ワークに投影された縞パターンを光路差プリズムで２光路に分け、ラインセンサの異なる２箇所で縞のコントラストを検出し、AFコントローラが高速演算を行い、両方の信号が近似する位置へ駆動部を移動させピントを合わせます。

　新開発の２ラインセンサ方式は、その名の通りラインセンサを２本用い、縞のコントラスト検出速度を倍増し、より反応速度を速めたシステムです。

当社のオートフォーカス顕微鏡に採用しているラインセンサ方式は他の方式と比較しても非常に優秀です。

カメラ結像位置

光路差プリズム

照明

AFパターン（縞パターン）

ミラーハーフミラー

対物レンズ

ピント位置

ラインセンサ

結像位置

結像位置

AFコントローラ

ビーム

スプリッタ

駆　

動　

部

読取信号 A ch

読取信号 B ch

項　目ラインセンサ方式レーザー方式映像信号方式

追従型オートフォーカス性能 ◎ ◎ ×

透明体[素ガラス]試料への対応 ◎ ［◎］ ○ ［△］ × ［×］

紙等の反射率の低い試料への対応 ○ × ×

穴や窪みのある試料への対応 ◎ × ◎

1秒以内の合焦スピード（諸条件設定によりさらに短縮） ◎ ◎ ×

他のオートフォーカス方式との性能比較






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


オートフォーカス顕微鏡

製品番号 AF-I製品名オートフォーカス顕微鏡価格別途御見積対物レンズニコンCF/ICシリーズ、オリンパスUISシリーズ　5×～50×（100×）明視野カメラ CマウントCCDカメラ（CCDサイズ2/3″以下）

駆動部最小分解能 0.078μm/1パルス移動量標準4㎜（10㎜まで設定可能）

合焦方式ラインセンサ方式

合焦条件サーチ範囲 ±200μm（対物レンズ20×）サーチタイム 0.5秒以内 /サーチ（上記条件時）

リレーレンズ標準 1.0×（リレーレンズなし）オプション 1.5×、2.0×、2.5×、3.0×

電源コントローラ（0.5A）付属品オートフォーカス専用コントローラ対象試料金属面、ガラス面、プラスチック面、紙

17.526

278.9

119

151

122

1578.5

47200

50.236.887

2082.4

33.5

45

45

CﾏｳﾝﾄC mount AF sensor

AFｾﾝｻ

投光管Light emiting tube

AF drive mechanism

4-M6 depth 8

AF駆動機構

4-M6深8

製品の外観図

AF-I

ラインセンサ方式により、高速・高再現性を実現します。

オンラインの加工・測定機に組み込み可能なコンパクト

サイズです。

（株）ニコン製対物レンズCF/ICシリーズおよびオリンパス

（株）製対物レンズUISシリーズに標準で対応します。

ガラス・プラスチックなどの透明体表面に対して最適です。

窪みや穴のある表面にも対応します。

AF-I

※オートフォーカス顕微鏡の価格には対物レンズ、TVカメラは含まれていません。※現地据え付け調整費は別途御見積いたします。





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


オートフォーカス顕微鏡（レボルバ対応）

製品番号 AF-77VB製品名オートフォーカス顕微鏡（レボルバ対応）価格別途御見積対物レンズニコンCF/ICシリーズ、CFI60シリーズ、オリンパスUISシリーズ　5×～50×（100×）明視野カメラ CマウントCCDカメラ（CCDサイズ2/3″以下）

駆動部最小分解能 0.078μm/1パルス移動量標準4㎜（10㎜まで設定可能）

合焦方式ラインセンサ方式

合焦条件サーチ範囲 ±200μm（対物レンズ20×）サーチタイム 0.5秒以内 /サーチ（上記条件時）

リレーレンズ標準 1.0×（リレーレンズなし）オプション 1.5×、2.0×、2.5×、3.0×

電源コントローラ（0.5A）付属品オートフォーカス専用コントローラ対象試料金属面、ガラス面、プラスチック面、紙

17.526

303.9

232

136.5

51233

3

287

57.5110.5

168

14.5

6444

122

1514.5

2

8545

311.5

投光管

AF駆動機構

4-M6深8

Cﾏｳﾝﾄ AFｾﾝｻ

φ6 +0.0180 深5

φ6 +0.0180 長穴深5

製品の外観図

AF-77VB

ラインセンサ方式により、高速・高再現性を実現します。

レボルバ（電動も可能）を利用することで、2ポート以上の

対物レンズでオートフォーカスが可能です。

オンラインの加工・測定機に組み込み可能なコンパクト

サイズです。

（株）ニコン製対物レンズCF/ICシリーズ、CFI60シリーズ

およびオリンパス（株）製対物レンズUISシリーズに標準で

対応します。

ガラス・プラスチックなどの透明体表面に対して最適です。

窪みや穴のある表面にも対応します。AF-77VB

※オートフォーカス顕微鏡の価格には対物レンズ、TVカメラは含まれていません。※現地据え付け調整費は別途御見積いたします。






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


オートフォーカス顕微鏡（ステージ昇降タイプ）

製品番号 AF-RF製品名オートフォーカス顕微鏡（ステージ昇降タイプ）価格別途御見積Z 移動量 ±1㎜、リミットセンサ付１パルス移動量 0.078125μm（6,400分割時）ステージ取付部厚さ 25㎜以下駆動 AFC-4コントローラで駆動可能

対応顕微鏡は、市販の金属顕微鏡ニコン、オリンパス、

ライカ、カールツァイス（一部機種は除く）です。

改造・追加工は、AFユニット（ボックスタイプ）と新AF

駆動部採用で一切の改造・追加工不要です。

また、マニュアル顕微鏡に戻すことも可能です。

従来の中央精機AFの性能をそのままに高速追従性能で、

マニュアル顕微鏡がAF顕微鏡に変身します。

顕微鏡筐体とX・Yステージ等の間に差込型の駆動部を採用

し、微動輪への改造型やカップリング型に比べ長寿命です。

また、本来モータ改造を保証していない微動輪に工事を

行わないことからメンテナンスも簡単です。AF-RF

CCDカメラ

AF-UNB

鏡筒

AF駆動部（薄型）AF-261ZA

XYステージ照明部

オートフォーカスユニット（ボックスタイプ）　AF-UNB

AF駆動部（薄型）　AF-261ZA装着の状況

取付例





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡


対物スライダ

AF-OLS-06XY AF-OLS-CXY

XYの2軸にすることで対物レンズの切り替えを高速化し、高い位置再現性を実現しました。

最大6種類の対物レンズを取り付け可能です。

コントローラの前面パネル、通信機能で操作が可能です。

レーザーリペア装置、自動検査装置などに搭載が可能なフレキシブル設計です。

■ 対物スライダ製品番号 AF-OLS-06XY製品名対物スライダ価格別途御見積移動量 X軸76㎜、Y軸38㎜分解能 0.3125μm移動ガイド V溝とクロスローラ送りねじリード 4㎜（ボールねじ）ポート数 6ポート（3ポート並列）ポート間の距離 38㎜ポート間最小移動時間 0.3s速度 180㎜ /s全ストローク移動時間 X軸0.6s、Y軸0.3s再現性（繰り返し精度） ±1.5μm搭載質量 2.4㎏質量 3.7㎏

■ 対物スライダコントローラ製品番号 AF-OLS-CXY製品名対物スライダコントローラ価格別途御見積制御機能ステップ機能、原点復帰、ポート操作、リモート運転原点復帰機械原点、オフセット原点通信機能 RS-232C、PI/O外形寸法 W254㎜×D390㎜×H150㎜質量約7㎏

使用例






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

メカニカルステージ／自動ステージ／顕微鏡用自動化製品／フォーカシングユニット

フォーカシングユニット

顕微鏡本体に追加工などを施さず取り付けが可能です。

各種顕微鏡の焦準合わせ用ハンドル部へ取り付けて、焦準合わせの移動が遠隔操作可能です。

焦準調整用ノブの回転方向と、移動方向の切り替えが行えるため、左右どちらのハンドルにも取り付け可能です。

　（ただし、固さ調整リングのあるハンドル側への取り付けとなります。）

RS-232Cによるリモート操作が可能です。パラメータの詳細設定や自動運転が可能です。

　（リモート操作を行うには、RS-232Cインターフェースを搭載したパソコンと通信アプリケーションソフトが必要です。）

リモート制御コマンド体系やパラメータはQTシリーズ互換です。QTシリーズと同様のプログラム記述が使用できます。

　（ただし、一部使用できないコマンドやパラメータがあります。）

フォーカシングカプラ（モータユニット部）には5相ステッピングモータを使用していますのでQTシリーズコントローラドライバを

　代用することが可能です。

フォーカシングコントローラ（コントローラ部）はフォーカシングカプラ（モータユニット部）以外にも当社自動ステージのコントローラ

　ドライバとして使用可能です。自動ステージを手動ステージのように操作することができます。

フォーカシングカプラ（モータユニット部）の手動操作用ハンドルにより、手動での焦準合わせも可能です。

入力電源をDC24Vにしました。生産ラインのDC24V電源を直接使用できるほか、DC24Vがない環境でも付属の専用ACアダプタ

　（QT-AC）を使用することでAC100Vでも使用可能です。

MSS-FMC MSS-FM MSS-FC

■ 使用可能な金属顕微鏡オリンパス BH2、BX40、BX60、MX50、BX-FM

ニコン

オプチフォト100S、オプチフォト150オプチフォト200、オプチフォト300エクリプス　ME600、エクリプス　L150、エクリプス　L200IM-3、IM-4

■ 使用可能な倒立顕微鏡オリンパス IX70、IX71

ニコン TE2000

※他の顕微鏡についてはお問い合わせください。

使用例





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

顕微鏡用

XYステージ


ユニット


顕微鏡

メカニカルステージ／自動ステージ／顕微鏡用自動化製品／フォーカシングユニット

■ フォーカシングユニット製品番号 MSS-FMC製品名フォーカシングユニット価格 ¥220,000

■ フォーカシングカプラ（モータユニット部）製品番号 MSS-FM製品名フォーカシングカプラ価格 ¥75,000使用モータ PMM33BH相当（5線式ペンタゴン結線）分解能 0.36°（0.72°）モータケーブル長約1m（付属ケーブル）質量 0.5㎏材質アルミ合金周囲温度 / 湿度 10～40℃ /20～80%RH（非結露）

■ フォーカシングコントローラ（コントローラ部）製品番号 MSS-FC製品名フォーカシングコントローラ価格 ¥155,000

入力電源電圧範囲：DC24V±10%以内、電流容量：2.5A以上、許容リップル電圧：400mVp-p以下でサージ等がないこと、QT-AC付属（これらの条件が全て満たされないと破損する可能性があります）

周囲温度 / 湿度 10～40℃ /20～80%RH（非結露）質量 1.5㎏分解能 0.36°（リモート制御により0.72°に変更可）１回の最大パルス出力リモート制御：16,777,215パルス駆動周波数（モータ回転速度）リモート制御：10～20,000pps（0.6～1,200rpm）リモート制御用インターフェース RS-232Cマニュアル操作機能ジョグダイヤルによる微小移動、シャトルスイッチによる粗移動、原点復帰、座標値ゼロセット、ソフトリミット設定リモート制御コマンドアブソリュート移動、ステップ移動、ジョグ移動原点移動、移動停止、移動速度変更、座標値変更、励磁ON/OFFその他機能リモート回線チェック機能、回転方向切り替え

※リモート制御を行うには、RS-232Cを搭載したパソコンとハイパーターミナル等の通信アプリケーションソフトか、これに順ずるアプリケーションソフトが必要です。（ハイパーターミナルはMicrosoft社のアプリケーションソフトです。）

■ フォーカシングコントローラ（コントローラ部）でリモート制御に使用するコマンド一覧コマンド

書　　式備　　考コード機　　能

A アブソリュート移動（移動先座標値設定） A：A＜座標＞ A軸（移動開始は［G:］）

AGO アブソリュート移動（座標値設定+移動開始） AGO：A＜座標＞ A軸（移動先座標値設定と移動開始）

D移動速度・加減速時間設定 D：A＜低速＞P＜高速＞P＜加減速＞低速速度、高速速度、加減速時間を設定現在設定値の確認 D：AR ホストに現在設定値を返す

E 非常停止（全軸） E：減速停止F フラッシュメモリへの書込 F：バックアップメモリへのデータ保存G 駆動 G： A軸H 原点復帰 H：A 原点復帰を指定I センサ入力確認 I： A軸ステージのセンサ状態を返すJ ジョグ移動（方向の設定） J：A＜方向＞ A軸（軸と方向の指定、移動開始は［G:］）

JGO ジョグ移動（方向の設定と移動） JGO：A＜方向＞ A軸（軸と方向の指定+移動）L 停止（減速停止 /即停止選択） L： A軸M ステップ移動（ステップ数の設定） M：A＜パルス数＞ A軸（軸とパルス数の設定、移動開始は［G:］）

MGO ステップ移動（ステップ数の設定と移動） MGO：A＜パルス数＞ A軸のパルス数の設定と移動

Pパラメータ書込み P：＜パラメータNo.＞＜設定値＞パラメータの設定パラメータ読込み P：＜パラメータNo.＞R ホストに現在設定値を返す

Q ステータスリクエスト Q：＜要求内容＞ A軸の座標値やステータスを要求R 座標値設定 R：A＜座標値＞ A軸

Sステップ角切替 S：A＜設定値＞フル /ハーフの切替現在設定値の確認 S：R ホストに現在設定値を返す

W ウエイト W：＜単位時間＞設定した単位時間分休止する

Xコマンドレスポンス切替 X：＜設定値＞レスポンス「0：無し」「1：有り」切替レスポンス現在設定値の確認 X：R ホストに現在設定値を返す

? バージョン確認 ?：ホストにシステムバージョン記号を返すRESET システムリセット RESET：システムの初期化RESTA リスタート RESTA：電源再起動と同様の操作

# 注釈（非実行コマンド） #：プログラム中の注釈（動作に影響しない）






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

メカニカルステージ／自動ステージ／アクチュエータ

オートマイクロ一覧製品イメージ写真製品番号ページ

AMH-13

252

AMH-15

AMH-25

AMC-2

AMC-4

オートマイクロ（ステッピングモータ仕様）一覧製品イメージ写真製品番号ページ

AMS-15A

254

AMS-30A

QT-ADL1-35

196QT-ADL1-35（K）

QT-ADL1-35（K）AC

QT-ADM2-35200

QT-ADM2-35（K）

QT-AMH2-35204

QT-AMH2-35（K）

QT-ADM3-35

208

QT-ADM3-35（K）





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

アクチュ

エータ


全レイヤーを表示した場合

寸法線のレイヤーを非表示にした場合

オートマイクロ（ステッピングモータ仕様）中央精機株式会社

ＡＭＳ－３０Ａ

120.897.8

平面ｽﾋ°ﾝﾄﾞﾙｷｬｯﾌ°取付時

ｽﾋ°ﾝﾄﾞﾙｷｬｯﾌ°取外時　　　

(31）

29M5×深ｻ8

Ø6Ø5.8

Ø6

2

球面ｽﾋ°ﾝﾄﾞﾙｷｬｯﾌ°取付時　　　

M9.5×0.5

30

Ø5.8

SR4

Ø6

2615

10.5

(1500)

621

21

+0 -0.009

Ø14M9.5×0.5

4

中央精機の2DCADデータは多くのCADソフトで利用できるDXF形式です。お手持ちのCADソフトで読み込み、組み込みや寸法確認などに利用することができます。2DCADデータは5つのレイヤーを設け、中心線や寸法線もレイヤーに割り当てられていますので必要のないレイヤーを非表示にすることで装置組み込みなどの確認が容易に行えます。

COLUMN　中央精機の2D CADデータ






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


オートマイクロ／オートマイクロコントローラ

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。

径・長さともに、非常にコンパクトです。

当社の手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。

スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

オートマイクロコントローラはオートマイクロを駆動するための専用コントローラです。

それぞれ1軸ずつ切り替えて駆動することが可能です。

リミット検出に過電流リミッタを使用していますので、オートマイクロの移動両端だけではなく使用するステージなどの移動限界でも

リミット停止が可能です。

オートマイクロの動作スピードはボリュームにより無段階で可変します。

TTL信号により外部制御の送りが可能です。

製品番号 AMH-13 AMH-15 AMH-25製品名オートマイクロ　13㎜オートマイクロ　15㎜オートマイクロ　25㎜価格 ¥27,000 ¥30,000 ¥30,000移動量 0～13㎜ 0～15㎜ 0～25㎜使用モータコアレスギヤードモータ推力 7kgf取付部径 φ9.5 0-0.009㎜ φ10 0-0.009㎜最高速度 1㎜ /s使用温度 20±10℃ケーブル長 2m質量 0.13㎏ 0.14㎏

製品番号 AMC-2 AMC-4製品名オートマイクロコントローラ 2軸用オートマイクロコントローラ 4軸用価格 ¥60,000 ¥70,000制御軸 2軸 4軸外形寸法 W180㎜×D125㎜×H70㎜（ただし突起部含まず）質量 0.6㎏


AMH-13 AMH-15 AMH-25

AMC-2 AMC-4

※AMC-2、AMC-4は製造中止を予定しております。





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

アクチュ

エータ


製品の外観図

0 -0.009

φ10

ｺﾈｸﾀ

ｹ-ﾌﾞﾙ　2m

M9.5×0.5

M9.5×0.5

φ18

4

SR4

φ14

φ6

φ5.4

25

15

6

2

140

123

AMH-25

0 -0.009

φ9.5

ｺﾈｸﾀ

ｹ-ﾌﾞﾙ　2m

M9.5×0.5M9.5×0.5

φ18

φ14

SR4

φ6

φ5.4 6

24 15

15 120

103

AMH-15

4.5

0 -0.009

φ9.5

ｺﾈｸﾀ

ｹ-ﾌﾞﾙ　2m

M9.5×0.5

M9.5×0.5

φ18

φ14

SR4

φ6

φ5.4

4

13

9.54

113

99

AMH-13






パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ


オートマイクロ

5相ステッピングモータを採用した自動のアクチュエータです。

推力が10㎏と非常にパワフルです。

減速比1：50を搭載しているため、非常に高分解能です。

原点としても利用可能なリミットセンサを標準で装備しています。

適合コントローラドライバはQT-Aシリーズの0.35A/相タイプです。

製品番号 AMS-15A AMS-30A製品名オートマイクロ（ステッピングモータ仕様）価格 ¥140,000 ¥150,000移動量 0～15㎜ 0～30㎜使用モータ PK513PB相当（5線式ペンタゴン結線、0.35A/相）推力 98N（10kgf）分解能 0.00002㎜送りねじリード 0.5㎜位置決め精度 0.01㎜ 0.015㎜繰り返し精度 ±0.003㎜取付部径 φ9.5 0-0.009㎜ φ10 0-0.009㎜質量 0.25㎏ 0.27㎏減速機減速比1：50最高速度（15,000PPS時） 0.3㎜ /s主要材質／表面処理鋼材／黒色クロム原点センサ－原点前センサ－リミットセンサノーマルオープン接点（メイク接点、A接点）動作、ホール ICケーブル長約1.5m

AMS-15A AMS-30A

使用例1　手動ステージに取り付け


使用例2　10㎏のワークも上下可能





パルス

ステージ

顕微鏡用

自動化製品

アクチュ

エータ

自動ステージ

手動ステージ

ステージ用

アクセサリ

アクチュ

エータ


製品の外観図

120.897.8

平面スピンドルキャップ取付時

スピンドルキャップ取外時

(31）

29M5×深ｻ8

φ6

φ5.8

φ6

2

球面スピンドルキャップ取付時

M9.5×0.5

30

φ5.8

SR4

φ6

2

6

15

10.5

(1500)

6

21

21

φ14M9.5×0.5

4

φ10

+0 -0.009

0102030

(1500)

M5×深ｻ8

スピンドルキャップ取外時

平面スピンドルキャップ取付時

14

(16）

φ6

φ5.8

φ6

15 2

球面スピンドルキャップ取付時

105.882.82

φ6

6

SR4

1515

M9.5×0.5

φ5.8

6

10.5

21

21φ9.5

+0 -0.009

φ9.5 +0.2+0.1

スペーサリング（付属品)移動量±6.5mmの手動ステージ

取付時に使用します。

φ16

34

M9.5×0.5 φ14

ナット（付属品）

051015

AMS-15A

AMS-30A

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