Fabricación de máscaras mediante tecnología láser Capacidades tecnológicas y Campos de Aplicación
Fabricación de máscaras mediante tecnología láser
Capacidades tecnológicas y Campos de Aplicación
Fabricación de máscaras mediante tecnología laser
2
Tecnología de grabación láser
Fabricación de máscaras mediante tecnología laser
3
Grabadores láser: Generación del Master
Grabador láser versátil (UCM)
Dimensión crítica 0.5 m Tamaño de grabación: 300×200 mm Precisión absoluta: 1 m
Grabador láser para grandes longitudes (FAGOR)
Dimensión crítica 1 m Tamaño de grabación: 60×3200 mm Precisión absoluta: 0.5 m por metro
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4
LimpiezaVidrio Secado
ResinadoSecado
Ataque químico
Insolación
Revelado
PVD
Vidrio Cromado
Agua destiladaJabonesAclaradosUltrasonidos
InfrarrojosHorno
Vidrio Cromado Resinado
Horno
Master
Lámpara UV
Inmersión en reveladorDucha agua destiladaAclaradosSecado: Horno
Grabador Láser
Inmersión en resina
Inmersión en ácidoAclarado
Máscara
Vidrio Cromado Resinado selectivamente
Control de espesor de capa (microscopio confocal)
Autocontrol de viscosidad de resina
Control de calidad mediante microscopio confocal
Control de calidad mediante microscopio confocal y AFM
Deposición de Cromo
Salas limpias clase 100 y 1000
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Producto Final
CromoVidrio
120 µm
1 mm
Spot: 0.5 - 5 µm
Raster Scan
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Campos de Aplicación
• Máscaras Fotolitográficas– Microelectrónica– MEMs– Microfluídica– Microarrays de ADN
• Implantación iónica
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7
Campos de Aplicación
• Retículas• Tarjetas de
Calibración• Óptica Difractiva
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8
Aplicación en metrología óptica
• Codificadores ópticos (FAGOR Automation) empleados en máquina herramienta