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Sitz der Gesellschaft: SYNLAB Chemie-, Industrie- und
Spezialanalytik CIS GmbH · Industriestr. 300 · 50354 Hürth Sitz der
Gesellschaft: SYNLAB Umweltinstitut GmbH · Hohnerstr. 23 · 70469
Stuttgart Geschäftsführer: Johannes Meyer Geschäftsführer: Dr.
Bartl Wimmer Dipl.-Ing. Lutz Eckardt
eingetragen im Handelsregister des Amtsgerichts Köln: HRB 92627
· USt. Id-Nr.: DE 314538033 eingetragen im Handelsregister des
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Hürth, 12.07.2018
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Anlage zu dem Prüfbericht UHU-18-0089809
Sehr geehrter Herr Ravasinghe,
unten aufgeführte Probe wurde von uns auftragsgemäß an der
Mikrosonde untersucht:
Präparat: 513, Anregung: 20 KV / 50 nA, 50 Sekunden
Besputterung
Probennummer: UHU-18-0089809-01
Probenbezeichnung: Chip
Fragestellung: REM Aufnahmen und EDX Analysen
Probeneingang: 10.07.2018
Prüfbeginn: 11.07.2018
Prüfende: 12.07.2018
Durchführung der Mikrosondenuntersuchung Von dem Chip wurden
unter dem Stereomikroskop Aufnahmen im originalen Zustand und im
eingebettet Querschnitt in Gießharz aufgenommen. Zu bemerken ist,
dass die gelbe, gummiartige Chipmasse sich nicht gut anschleifen
lässt und sich teilweise Fragmente aus der Oberfläche lösen. Um
eine Leitfähigkeit auf der Oberfläche zu erzeugen wurden die Probe
mit Gold besputtert. Die weiteren Untersuchungen fanden mit der
Mikrosonde mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl unter
Hochvakuum statt. Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse
(ED-RF-Analyse) Es wurden insgesamt eine Übersichtsanalyse und zwei
Punkteanalysen auf der gelben Chipmasse durchgeführt. Dabei wurden
kleine Flächen mit dem Elektronenstrahl angeregt und die dabei
emittierten Röntgenstrahlen energiedispersiv detektiert und
quantitativ ausgewertet. Ergebnis Es handelt sich um ein
siliziumbasiertes Trägermaterial, in dem stark kohlenstoffhaltige
Partikel eingelagert sind.
Standort Hürth
Gebäude CPK 2703 Industriestraße 300
50354 Hürth
Ihr Ansprechpartner: Manfred Zimmer Abteilungsleiter
Telefon: +49 2233 48 6717
Fax: +49 2233 15275 Mobil: +49 172 201 48 43
[email protected]
Energyworld Light GmbH Frau Thilaha Ravasinghe Rotbachweg 1
CH-6016 Hellbühl
SYNLAB Chemie-, Industrie- und Spezialanalytik CIS GmbH
Industriestraße 300, Gebäude CPK 2703, 50354 Hürth
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UHU-18-0089809 Seite 2 von 8
Inhalt
1. Aufnahme unter dem Stereomikroskop im Original
................................................................
3
2. Elektronenoptische Aufnahmen
.............................................................................................
5
3. Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen (EDX)
......................................................... 7
4. Ergebnis der energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen
(EDX) .................................... 8
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UHU-18-0089809 Seite 3 von 8
1. Aufnahme unter dem Stereomikroskop im Original Übersicht Bild
1
Übersicht Bild 2
Bild 3
Übersicht Schliffposition rot markiert
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UHU-18-0089809 Seite 4 von 8
Detail Bild 3
Eingebettet Bild 4
Bild 5
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UHU-18-0089809 Seite 5 von 8
Detail Bild 5
2. Elektronenoptische Aufnahmen Bild links-SE =
Sekundärelektronenaufnahme zeigt den topografischen Kontrast Bild
rechts-RE = Rückstreuelektronenaufnahme zeigt Materialkontrast
(Elementabhängig)
Übersicht Bild 6
Bild 7
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UHU-18-0089809 Seite 6 von 8
Detail Bild 7
Detail Bild 8
Bild 8
Punkt 1
Punkt 2
Übersicht
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UHU-18-0089809 Seite 7 von 8
3. Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen (EDX)
Es wurden auf dem gelben Trägermaterial eine Übersichtsanalyse
und zwei Punkteanalysen per EDX aufgenommen, siehe gelbe Quadrate
bei Bild 8. Die ED-RF-Analysespektren mit der Berechnung sind in
der Anlage beigefügten. EDX 1, Übersicht
EDX 2, Punkt 1 im hellen Bereich
C
O
Si
AuAu
Au
keV0
5000
10000
15000
20000
25000
30000
35000
40000
45000
0 10.00
C
O
Si
AuAu
Au
keV0
5000
10000
15000
20000
25000
30000
35000
40000
0 10.00
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EDX 3, Punkt 2 dunkle Stelle
4. Ergebnis der energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen
(EDX)
Probe Kohlenstoff Sauerstoff Silizium
Übersicht 25,75 % 23,17 % 46,61 %
Punkt 1 22,32 % 13,22 % 58,26 %
Punkt 2 63,32 % 24,93 % 7,42 %
Die Gold Besputterung wurde nicht berücksichtigt! Die
Prüfergebnisse beziehen sich auf die untersuchten Proben. Die
Veröffentlichung und Vervielfältigung unserer Prüfberichte /
Gutachten zu Werbezwecken sowie deren auszugsweise Vervielfältigung
in sonstigen Fällen bedürfen unserer schriftlichen Genehmigung.
Mit freundlichen Grüßen SYNLAB Chemie-, Industrie- und
Spezialanalytik CIS GmbH Manfred Zimmer Abteilungsleiter
Anorganische Chemie
C
O
Si
Au
Au
Au
keV0
1000
2000
3000
4000
5000
6000
7000
8000
9000
0 10.00