NAISL Quarterly, 2017 Volume 1, Number 2 Pages 13 - 19 Print ISSN: 2588-6401 Online ISSN: 2588-641X . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Abstract Key Words Energy dispersive X-ray spectroscopy, Microanalysis, Detector, X-ray characterizes, Spot analysis Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS) Mohammad Parastegari 1* and Maedeh Fooladgar 2 T he identification of the phases present in the microstructure of the material by the chemical composition plays a significant role in identifying the unknown phases. X-ray diffraction spectroscopy (EDS) is used for structural analysis and determination of the chemical composition of a specimen. By installing it on electron microscopes, can determine the X-ray characteristic of each element by using the resolution and mag- nification capabilities performed a qualitative and quantitative analysis on a wide range of samples. In this paper, explaining how EDS systems function, introducing different parts of EDS systems and the advantages and disadvantages of this method are fully described. ( * ) Corresponding author 1. Isfahan Science and Technology Town, Expert responsible for Central Laboratory Complex, E- mail: [email protected], Tel: 031 33865455 2. Isfahan Science and Technology Town, Expert Material Laboratory, E- mail: [email protected], Tel: 031 33865455
This document is posted to help you gain knowledge. Please leave a comment to let me know what you think about it! Share it to your friends and learn new things together.
Transcript
NAISLQuarterly, 2017
Volume 1, Number 2Pages 13− 19
Print ISSN: 2588-6401Online ISSN: 2588-641X
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
....
...
Abstract
Key WordsEnergy dispersive X-ray
spectroscopy,Microanalysis,
Detector,X-ray characterizes,
Spot analysis
Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(EDS)
Mohammad Parastegari1*and Maedeh Fooladgar2
The identification of the phases present in the microstructure of the material by thechemical composition plays a significant role in identifying the unknown phases.
X-ray diffraction spectroscopy (EDS) is used for structural analysis and determinationof the chemical composition of a specimen. By installing it on electron microscopes,can determine the X-ray characteristic of each element by using the resolution and mag-nification capabilities performed a qualitative and quantitative analysis on a wide rangeof samples. In this paper, explaining how EDS systems function, introducing differentparts of EDS systems and the advantages and disadvantages of this method are fullydescribed.
(*) Corresponding author1. Isfahan Science and Technology Town, Expert responsible for Central Laboratory Complex,E- mail: [email protected], Tel: 031 338654552. Isfahan Science and Technology Town, Expert Material Laboratory,E- mail: [email protected], Tel: 031 33865455
و شناخت در به سزایی نقش شیمیایی، ترکیب طریق از ماده ریز ساختار در موجود فاز های شناساییتحلیل و تجزیه برای (EDS) ایکس پرتو انرژی پراکندگی طیف سنجی می کند. ایفا مجهول فاز های تعیینالکترونی میکروسکوپ های روی بر آن نصب با و می رود کار به نمونه در موجود عناصر آنالیز و ساختاریقدرت از استفاده با عنصر، هر مشخصه ایکس پرتو تعیین و نمونه از بازگشتى پرتو هاى مطالعه با می تواندر داد. انجام نمونه ها از وسیعی طیف روی بر را کمى و کیفى آنالیز مختلف، بزرگنمایى قابلیت و تفكیکاین معایب و مزایا ،EDS سیستم های مختلف بخش های معرفی و عملکرد نحوه توضیح ضمن مقاله این
است. شده داده شرح کامل طور به روش
مکاتبات. مسئول (*)اصفهان، تحقیقاتی و علمی شهرک مرکزی، آزمایشگاهی مجتمع مسئول کارشناس ·١
می توان را نمونه یک از شده ساطع ایکس پرتو های انرژی و تعداد
از و کرد اندازه گیری ایکس پرتو انرژی پراکندگی طیف سنج کمک به
دیگر، تراز به ترازى از انتقال حین در عنصر هر اتم هاى که آنجایی
با مى کنند، ساطع خود از فرد به منحصر انرژى مقدار با ایکس پرتو
الکترونى بمباران حین در شده آزاد ایکس پرتو انرژى مقدار اندازه گیرى
شدت .[۴] نمود مشخص را آن در موجود اتم نوع توان مى نمونه، یک
است نمونه در مطالعه مورد عنصر مقدار با متناسب ایکس، پرتو های
هر می سازد. فراهم را مجهول نمونه کمی عنصری آنالیز امر این که
یابد، کاهش عناصر اتمی وزن و افزایش الکترونی پرتوی انرژی چه
نمود. کسب اطلاعات نمونه از بیش تری عمق از می توان
طیف سنجی روش با نمونه ای آنالیز از حاصل طیف ٢ شکل
یک هر انرژى می دهد. نشان را (EDS) ایکس پرتو انرژی پراکندگی
اختصاص خاص اتم یک به نمودار، این در شده داده نشان پیک هاى از
مورد عنصر بیش تر غلظت معنى به بیش تر ارتفاع با پیک هاى دارد.
اساس بر نمونه در موجود عناصر میزان هم چنین است. نمونه در نظر
است. شده داده نشان ١ جدول در اتمی و وزنی درصد های
(EDS) ایکس پرتو انرژی پراکندگی طیف سنجی روش با نمونه آنالیز از حاصل طیف :٢ شکل
اتمی و وزنی درصد های اساس بر شده آنالیز نمونه در موجود عناصر میزان :١ جدولElement series [norm. wt.%] [norm. at.%]Oxygen K-series ١٨ ۴٣٫٢Chromium K-series ٢٣٫٩ ١٧٫۶Iron K-series ۴۶٫۵ ٣٢Nickel K-series ١٠٫۴ ۶٫٧Molybdenum L-series ١٫٢ ٠٫۵
Sum: ١٠٠ ١٠٠
کمی نیمه آنالیز منظور به روش این که است این توجه قابل نکته
گرفته نظر در روبشی الکترونی میکروسکوپ از استفاده با همراه مواد
به ولی نیست، رایج عنصری آنالیز آزمون های جایگزین و است شده
شیمایی ترکیب به دستیابی برای ویژه به مناسب، استاندارد روش عنوان
می گیرد. قرار استفاده مورد فازها کیفی و کمی بررسی و نقطه ای
پراکندگی طیف سنجی اصلی بخش های ٣ایکس پرتو انرژی
ایکس پرتو انرژی پراکندگی طیف سنجی مجموعه اصلی قسمت چهار
ایکس)، پرتو دسته یا الکترون (دسته برانگیختگی منبع از: عبارتند