02 窒化シリコン膜を 層間絶縁膜に適用した 3層積層有機撮像デバイスの作製 瀬尾北斗 堺 俊克 大竹 浩 Color Image Sensor using Three Stacked Organic Photoconductive Films with Silicon Nitrides as Interlayer Insulators Hokuto SEO, Toshikatsu SAKAI and Hiroshi OHTAKE 要 約 小型で高画質なカラーカメラの実現を目指して,光の三 原色に対応した3種類の有機光電変換膜と光透過性の 高い信号読み出し回路とを交互に積層した構造を持つ, 新たな単板式カラー撮像デバイス「有機撮像デバイス」 を提案し,その研究開発を進めている。今回,膜厚2μm の窒化シリコン膜を層間絶縁膜として適用することで,光 の三原色に対応した3種類の有機光電変換膜と信号読 み出し回路を5.8μmの範囲に近接して配置した3層積層 構造の有機撮像デバイスを作製した。 ABSTRACT We are developing a color image sensor with three stacked organic photoconductive films (OPFs) sensitive to only one primary color component (red (R), green (G), or blue (B)); each OPF has a signal readout circuit. In this study, we fabricated a structure with three stacked OPFs sensitive to the R, G, or B component with a thickness of 5.8μm by using 2-μm- thick silicon nitrides as interlayer insulators. 29 NHK技研 R&D/No.153/2015.9
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02
窒化シリコン膜を層間絶縁膜に適用した3層積層有機撮像デバイスの作製瀬尾北斗 堺 俊克 大竹 浩
Color Image Sensor using Three Stacked Organic Photoconductive Films with Silicon Nitrides as Interlayer Insulators
Hokuto SEO, Toshikatsu SAKAI and Hiroshi OHTAKE
要 約
小型で高画質なカラーカメラの実現を目指して,光の三
原色に対応した3種類の有機光電変換膜と光透過性の
高い信号読み出し回路とを交互に積層した構造を持つ,
新たな単板式カラー撮像デバイス「有機撮像デバイス」
を提案し,その研究開発を進めている。今回,膜厚2μm
の窒化シリコン膜を層間絶縁膜として適用することで,光
の三原色に対応した3種類の有機光電変換膜と信号読
み出し回路を5.8μmの範囲に近接して配置した3層積層
構造の有機撮像デバイスを作製した。
ABSTRACT
We are developing a color image sensor with three
stacked organic photoconductive films (OPFs)
sensitive to only one primary color component (red
(R), green (G), or blue (B)); each OPF has a signal
readout circuit. In this study, we fabricated a structure
with three stacked OPFs sensitive to the R, G, or B
component with a thickness of 5.8μm by using 2-μm-
1) S. Aihara, H. Seo, M. Namba, T. Watabe, H. Ohtake, M. Kubota, N. Egami, T. Hiramatsu, T. Matsuda, M. Furuta, H. Nitta and T. Hirao:“Stacked Image Sensor with Green- and Red-Sensitive Organic Photoconductive Films Applying Zinc-Oxide Thin Film Transistors to a Signal Readout Circuit,”IEEE Trans. Electron Devices,Vol.56,No.11,pp.2570-2576(2009)
3) H. Seo, S. Aihara, T. Watabe, H. Ohtake, T. Sakai, M. Kubota, N. Egami, T. Hiramatsu, T. Matsuda, M. Furuta, H. Nitta and T. Hirao:“A 128×96 Pixel Stack-Type Color Image Sensor:Stack of Individual Blue-, Green-, and Red-Sensitive Organic Photoconductive Films Integrated with a ZnO Thin Film Transistor Readout Circuit,”Jpn. J. Appl. Phys.,Vol.50,No.2,pp.024103.1-024103.6(2011)
4) T. Sakai, H. Seo, S. Aihara, M. Kubota and M. Furuta:“Continuous Fabrication Technology for Improving Resolution in R, G, B-stacked Organic Image Sensor,”IS&T/SPIE Electronic Imaging International Society for Optics and Photonics,pp.86590G-1 – 86590G-8(2013)
5) T. Sakai, H. Seo, S. Aihara, H. Ohtake, M. Kubota and M. Furuta:“Color Image Sensor using Stacked Organic Photoconductive Films with Transparent Readout Circuits Separated by Thin Interlayer Insulator,”IS&T/SPIE Electronic Imaging International Society for Optics and Photonics, pp.90220J-1–90220J-7(2014)
6) T.Sakai, H.Seo and H.Ohtake:“Characteristics of Low-temperature Fabricated Interlayer Insulators for Stacked Image Sensor using Organic Photoconductive Films,”10th International Conference on Electroluminescence and Organic Optoelectronics (ICEL-10),P-1,406,p.77(2014)