4 BAB II TINJAUAN PUSTAKA 2.1 Bahan Ferroelektrik Film tipis ferroelektrik banyak digunakan dalam aplikasi untuk piranti elektrooptik dan elektronik. Bahan pyroelektrik dan piezoelektrik merupakan sub kelompok dari bahan ferroelektrik. Bahan ferroelektrik (tercakup di dalamnya pyroelektrik) seperti LiTaO 3 , Ba x Sr 1-x TiO 3 dan turunannya (Ba x Sr 1-x TiO 3 didadah dengan Indium). Ferroelektrik adalah gejala terjadinya perubahan polarisasi listrik secara spontan pada material tanpa gangguan medan listrik dari luar. Ferroelektrifitas merupakan fenomena yang ditunjukkan oleh kristal dengan suatu polarisasi spontan dan efek histerisis yang berkaitan dengan perubahan dielektrik dalam menanggapi penerapan medan listrik. Sifat histeresis dan konstanta dielektrik yang tinggi dapat diterapkan pada sel memori Dynamic Random Acsess Memory (DRAM) dengan kapasitas penyimpanan melampaui 1 Gbit, pada lapisan dielektrik semikonduktor diharuskan ukuran sel direduksi besar-besaran, sehingga dianggap tidak praktis lagi, sifat piezoelektrik dapat digunakan sebagai mikroaktuator dan sensor, sifat pyroelektrik dapat diterapkan pada switch termal infra merah, sifat polaryzability dapat diterapkan sebagai Non Volatile Ferroelektrik Random Acsess Memory (NVFRAM) (Azizahwati, 2002). Sedangkan daerah operasi sensor ferreoelektrik (yang juga pyroelektrik) di sekitar suhu kamar selama di bawah suhu Curie (T c = 490 0 C). Dalam penelitian ini dipilih bahan ferroelektrik (yang juga pyroelektrik) sebagai bahan untuk sensor cahaya dengan alasan cara pembuatan bahan ferroelektrik ini lebih mudah dan dapat dibuat dalam lingkungan yang tidak memerlukan pendinginan, berarti pembuatannya mudah dilakukan di laboratorium kampus Indonesia. Ferroelektrik menunjukkan bahwa kelompok material dielektrik yang dapat terpolarisasi listrik secara internal pada rentang temperatur tertentu. Polarisasi terjadi di dalam dielektrik sebagai akibat adanya medan listrik dari luar dan simetri pada struktur kristalografi di dalam sel satuan. Jika pada material ferroelektrik dikenakan
13
Embed
BAB II TINJAUAN PUSTAKA 2.1 Bahan Ferroelektrik · 4 BAB II TINJAUAN PUSTAKA 2.1 Bahan Ferroelektrik Film tipis ferroelektrik banyak digunakan dalam aplikasi untuk piranti elektrooptik
This document is posted to help you gain knowledge. Please leave a comment to let me know what you think about it! Share it to your friends and learn new things together.
Transcript
4
BAB II
TINJAUAN PUSTAKA
2.1 Bahan Ferroelektrik
Film tipis ferroelektrik banyak digunakan dalam aplikasi untuk piranti
elektrooptik dan elektronik. Bahan pyroelektrik dan piezoelektrik merupakan sub
kelompok dari bahan ferroelektrik. Bahan ferroelektrik (tercakup di dalamnya
pyroelektrik) seperti LiTaO3, BaxSr1-xTiO3 dan turunannya (BaxSr1-xTiO3 didadah
dengan Indium).
Ferroelektrik adalah gejala terjadinya perubahan polarisasi listrik secara
spontan pada material tanpa gangguan medan listrik dari luar. Ferroelektrifitas
merupakan fenomena yang ditunjukkan oleh kristal dengan suatu polarisasi spontan
dan efek histerisis yang berkaitan dengan perubahan dielektrik dalam menanggapi
penerapan medan listrik. Sifat histeresis dan konstanta dielektrik yang tinggi dapat
diterapkan pada sel memori Dynamic Random Acsess Memory (DRAM) dengan
kapasitas penyimpanan melampaui 1 Gbit, pada lapisan dielektrik semikonduktor
diharuskan ukuran sel direduksi besar-besaran, sehingga dianggap tidak praktis lagi,
sifat piezoelektrik dapat digunakan sebagai mikroaktuator dan sensor, sifat
pyroelektrik dapat diterapkan pada switch termal infra merah, sifat polaryzability
dapat diterapkan sebagai Non Volatile Ferroelektrik Random Acsess Memory
(NVFRAM) (Azizahwati, 2002). Sedangkan daerah operasi sensor ferreoelektrik
(yang juga pyroelektrik) di sekitar suhu kamar selama di bawah suhu Curie (Tc =
4900C).
Dalam penelitian ini dipilih bahan ferroelektrik (yang juga pyroelektrik)
sebagai bahan untuk sensor cahaya dengan alasan cara pembuatan bahan
ferroelektrik ini lebih mudah dan dapat dibuat dalam lingkungan yang tidak
memerlukan pendinginan, berarti pembuatannya mudah dilakukan di laboratorium
kampus Indonesia.
Ferroelektrik menunjukkan bahwa kelompok material dielektrik yang dapat
terpolarisasi listrik secara internal pada rentang temperatur tertentu. Polarisasi terjadi
di dalam dielektrik sebagai akibat adanya medan listrik dari luar dan simetri pada
struktur kristalografi di dalam sel satuan. Jika pada material ferroelektrik dikenakan
5
medan listrik, maka atom-atom tertentu mengalami pergeseran dan menimbulkan
momen dipol listrik. Momen dipol ini yang menyebabkan polarisasi. Momen dipol
per-satuan volume disebut sebagai polarisai dielektrik (J. Y. Seo, 2004).
Kurva hubungan antara polarisasi listrik (P) dan kuat medan listrik (E)
ditunjukkan pada Gambar 1. Ketika kuat medan listrik ditingkatkan maka polarisasi
meningkat cepat (OA) hingga material akan mengalami kondisi saturasi (AB). Jika
kuat medan diturunkan, polarisasinya tidak kembali lagi ke titik O, melainkan
mengikuti garis BC. Ketika medan listrik tereduksi menjadi nol, material akan
memiliki polarisasi remanan (Pr) (OC). Untuk menghapus nilai polarisasi dari
material akan memiliki polarisasi dari material dapat dilakukan dengan
menggunakan sejumlah medan listrik pada arah yang berlawanan (negatif). Harga
dari medan listrik untuk mereduksi nilai polarisasi menjadi nol disebut medan koersif
(Ec). Jika medan listrik kemudian dinaikkan kembali, maka material akan kembali
mengalami saturasi, hanya saja bernilai negatif (EF). Putaran kurva akan lengkap jika
medan listrik dinaikkan lagi dan pada akhirnya akan didapatkan kurva hubungan
polarisasi (P) dengan medan koersif (Ec) yang ditunjukan loop histerisis (A.
Marwan, 2007).
2.2 Bahan Barium Stronsium Titanat (BST)
Barium Stronsium Titanat (BST) adalah film tipis yang berpotensi untuk
DRAM dan NVRAM karena memiliki konstanta dielektrik tinggi, kebocoran arus
rendah dan tahan terhadap tegangan breakdown yang tinggi pada temperatur Curie.
Temperatur Curie pada Barium Titanat adalah 1300C dan dengan adanya doping
Stronsium temperatur Curie menurun menjadi suhu kamar dan dapat digunakan pada
device yang memerlukan temperatur kamar. Film tipis BST telah difabrikasi dengan
beberapa teknik seperti sputtering, laser ablation dan sol-gel process (N. V.
Giridharan et al, 2001).
Kenaikan temperatur annealing akan menaikkan ukuran grain dalam kristal
film tipis BST. Pada suhu annealing 7000C struktur BST yang teramati adalah
struktur kubik dengan konstanta kisi a = 3,97 Å untuk 30% mol Stronsium.
Konstanta dielektriknya diukur dari kurva C-V kira-kira 120 dengan faktor disipasi
6
0,0236. Kebocoran rapat arus dari film adalah 4x10-8 A/cm dari perhitungan I-V
menggunakan device peralatan fabrikasi (N. V. Giridharan et al, 2001).
Teknologi kapasitor BST multi-layer dengan kerapatan tinggi menawarkan
keuntungan yang jelas untuk mendapatkan variasi modul dan paket elektronik.
Kapasitor BST memiliki keuntungan yaitu memiliki range 0.5 pF sampai 500 nF,
kapasitor bypass dan berbagai macam kapasitansi yang bisa dihubungkan dengan
sebuah chip pasife singel film tipis. Chip kecil kapasitor multi fungsi bisa
meningkatkan performa dan mereduksi ukuran Multi-chip module (MCM) dan
Systems-in-Package (Si P), lihat Gambar 2. (Thomas et al, 2004)