-
MDP tranzistoriai pranašesni už dvipolius: jie paprasčiau
suformuojami,
pasižymi didele į÷jimo varža, mažesniais triukšmais, yra
atsparesni
jonizuojančiajai spinduliuotei.
MDP tranzistoriai, kaip žinome, esti dviejų tipų: su
indukuotuoju kanalu ir su
įterptuoju kanalu.
MDP integriniuose grandynuose dažniausiai naudojami
tranzistoriai su
indukuotuoju kanalu, kuriuose dielektrikas po užtūra – plonas
silicio dioksido
sluoksnis. D÷l to šie integriniai grandynai dažniausiai vadinami
MOP
integriniais grandynais.
Kadangi tranzistorių su p kanalais gamyba yra šiek tiek
paprastesn÷ už
tranzistorių su n kanalais gamybą, pirmiausia buvo gaminami pMOP
integriniai
grandynai. V÷liau juos pakeit÷ pranašesni nMOP grandynai. Juose
n kanalo
pagrindinių krūvininkų – elektronų – judrumas didesnis. Kai
didesnis judrumas,
kaip žinome, galima gauti didesnį tranzistoriaus perdavimo
charakteristikos
statumą, geresnes dažnines savybes ir didesnę veikimo
spartą.
nMOP tranzistoriai yra pagrindiniai MOP IG elementai.
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
1
Isolation of elementsMOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
2
http://www.answers.com/topic/mosfet
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
3
http://www.answers.com/topic/mosfet
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
4
MOP tranzistoriaus su indukuotuoju n kanalu gali būti sudarytas
tokiu
nuoseklumu:
1. Oksidavimas.
2. Ištakos ir santakos fotolitografija.
3. Ištakos ir santakos sričių difuzija.
4. Oksidavimas.
5. Fotolitografija. Atveriamos angos plono sluoksnio
izoliacinio
sluoksnio po užtūra sudarymui.
6. Oksidavimas – sudaromas plonas tankus silicio dioksido
sluoksnis.
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
5
7. Fotolitografija – atveriamos angos ištakos ir santakos
sričių
kontaktams.
8. Metalizavimas.
9. Metalo fotolitografija – selektyvus metalo sluoksnio
÷sdinimas.
10. Kontaktų atkaitinimas.
11. Pasyvavimas.
12. Kontaktinių aikštelių fotoligrafija.
MOP IG elementai
-
•Formuojant MOP tranzistorius, sudaromi ir kiti MOP integrinių
grandynų elementai.
•MOP integriniuose grandynuose naudojama nedaug elementų tipų.
Kaip varžiniai elementai
dažniausiai naudojami MOP tranzistorių kanalai. Tokie
rezistoriai užima mažesnį plotą nei
difuziniai rezistoriai. Ryšiai tarp grandyno elementų
dažniausiai būna galvaniniai, tod÷l
nereikia ryšio ir skiriamųjų kondensatorių. Kaip atminties
grandinių talpiniai elementai
naudojamos talpos tarp MOP tranzistorių užtūrų ir
puslaidininkin÷s plokštel÷s.
•MOP integrinių grandynų gamyba yra paprastesn÷ nei dvipolių
integrinių grandynų gamyba.
Tod÷l gaminant tokių pat funkcinių galimybių MOP integrinius
grandynus būna mažiau broko.
•Integriniai MOP tranzistoriai yra izoliuoti vienas nuo kito
priešpriešiais įjungtomis pn
sandūromis. Kai nereikia izoliuotų sričių, daug geriau
panaudojamas lusto plotas. Kadangi
MOP tranzistorius užima kelis kartus mažesnį plotą nei dvipolis
tranzistorius, taikant MOP
technologiją pavyksta pasiekti didesnį integracijos laipsnį.
•Didel÷ MOP tranzistorių į÷jimo varža ir mažesnis užimamas
plotas lemia tai, kad MOP
integrinių grandynų vartojamoji galia yra maža.
•Kadangi per MOP grandynų elementus teka silpnesn÷s srov÷s, tai
elementų sujungimams
galima naudoti ne tik metalinius takelius, bet ir laidininkus,
sudarytus naudojant n+ sluoksnį
arba polikristalinį silicį - yra didesn÷s galimyb÷s padaryti
reikalingus sujungimus naudojant
mažiau metalo sluoksnių.
•D÷l aptartų priežasčių dauguma šiuolaikinių integrinių grandynų
yra MOP grandynai.
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
6
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
7
MOP integriniai grandynai buvo sukurti v÷liau nei dvipoliai. Tai
l÷m÷
technologiniai sunkumai, kilę siekiant pašalinti nepageidaujamus
paviršinius
reiškinius, sumažinti paviršinių lygmenų tankį ir sudaryti ploną
aukštos
kokyb÷s dielektriko sluoksnį po užtūra.
Įveikus min÷tus sunkumus, pagamintiems pagal aptartą
paprasčiausią
technologiją MOP integriniams grandynams vistiek būdingi
trūkumai.
MOP tranzistorių veikimo spartą riboja kanalo ilgis ir
parazitin÷s talpos,
susidarančios d÷l to, kad užtūros elektrodas iš dalies dengia
ištakos ir santakos
sritis.
Minimalų kanalo ilgį lemia fotolitografijos galimyb÷s.
Užtūros persidengimas su ištaka bei santaka numatomas
konstruojant
tranzistorių.
Dar vienas paprasčiausios technologijos trūkumas susijęs su tuo,
kad
slenkstin÷ įtampa, kuriai veikiant po užtūra susidaro apgrąžinis
sluoksnis
(kanalas), yra gana didel÷ (apie 2–4 V).
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
8
http://www.engr.sjsu.edu/jfreeman/BasicMOS_files/image016.gif
MOP IG elementai
-
Sprendžiant savaiminio sutapdinimo ir slenkstin÷s įtampos
mažinimo
problemas sukurta polikristalinio silicio užtūrų
technologija.
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
9
Savaiminio sutapdinimo technologija
Norint sudaryti tranzistorius su trumpesniais kanalais buvo
tobulinamos
litografijos technologijos. Parazitinių talpų tarp užtūros ir
ištakos bei santakos
išvengiama taikant savaiminio sutapdinimo technologijas.
Tiksliai sutapdintą su užtūra kanalą galima sudaryti taikant
jonų implantavimą.
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
10
Polikristalinių užtūrų technologija
1. Oksidavimas.
2. Fotolitografija.
3. Oksidavimas.
4. Polikristalinio silicio
nusodinimas.
5. Fotolitografija
6. Ištakos ir santakos
difuzija.
7. Oksidavimas.
8. Kontaktinių angų
fotolitografija.
9. Metalizavimas.
10. Metalo sluoksnio
fotolitografija.
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
11
http://www.aist.go.jp/aist_e/latest_research/2006/20060117/fig3.jpg
An SEM image of the upright-type double-gate MOS transistor
Siekiant padidinti veikimo spartą, trumpinami MOP tranzistorių
kanalai,
panaudojamos medžiagos, kuriose didelis elektronų judrumas,
HEMT
tranzistoriuose panaudojamos heterosandūros.
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
12
Nanodariniams formuoti taikomi savaiminio formavimosi ir
savaiminio
sutapdinimo principai.
Prof. R.Navickas Prof. S.Janušonis
MOP IG elementai
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
13
Isolation of elementsKMOP IG (CMOS ICs)
Svarbią MOP integrinių grandynų grupę sudaro grandynai su
jungtiniais
MOP tranzistoriais, dar vadintini komplementariaisiais* MOP
integriniais
grandynais (angl. CMOS IC – complementary MOS integrated
circuit, rus.
КМОП ИС – комплементарная МОП интегральная схема). Juose
naudojamos nuosekliai sujungtų tranzistorių su n ir p kanalais
poros.
KMOP integrinių grandynų gamyba sud÷tingesn÷, jų veikimo sparta
-
mažesn÷, tačiau jie turi labai svarbų privalumą. Kai yra
skaitmenin÷s
grandin÷s loginio nulio arba loginio vieneto būsena, vienas iš
poros
tranzistorių esti uždaras. Taigi per tranzistorius praktiškai
neteka srov÷ ir
nenaudojama maitinimo šaltinio galia.
*Lot. complementum – papildymas.
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
14
KMOP IG
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
15
http://www.answers.com/topic/integrated-circuit
KMOP IG
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
16
KMOP IG
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
17
CMOS IC
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
18
Isolation of elementsKMOP IG sudarymas SAS technologija
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
19
Isolation of elementsKombinuotosios technologijos
Mikroprocesorių, keitiklių ir kituose didel÷s integracijos
grandynuose tikslinga išnaudoti dvipolių ir MOP elementų
privalumus.
Sud÷tingų integrinių grandynų gamybai taikoma kombinuotoji
dvipolių ir MOP darinių (Bi-MOP, Bi-KMOP) technologija.
-
ELEKTRONIKOS ĮTAISAI 2009
VGTU EF ESK [email protected]
20