高品質の材料を使用し、高精度・大型サイズ・薄さ 0.4 mm まで対応可能な石英ガラスウェハです。 お客様のご要望に合わせて提供します。 ・高品質の合成石英ガラスを使用 ・大型サイズも対応可能(~φ300 mm) ・最薄 0.4 mm ・高精度の平面度と表面粗さ 石英ガラスウェハ ■仕様例 ■測定例 ≦300 μm (稜線部) ≦200 μm (端面部) カケ 直径 ≦10 μm ディグ 線幅 ≦10 μm スクラッチ ≦0.001 μm 表面粗さ (R a ) ≦2 μm ≦10λ(λ=632.8 nm) 平面度 (PV) ± 0.02 mm 厚さ方向 ± 0.1 mm 径方向 寸法公差 0.6 mm 厚さ TTV 200 mm 直径 ・φ200 mm ・平面度 (PV)≦10λ(λ=632.8 nm) ・表面粗さ(R a ) ≦0.001 μm 108-6290 東京都港区港南 2-15-3 品川インターシティ C 棟 Tel:03-6433-3977 https://www.nikon.co.jp/glass/ [email protected] ガラス事業室 ■主な用途 ・半導体製造プロセス ・バイオテクノロジー ・MEMS ・HTPS(高温ポリシリコン TFT 液晶) 2015.10 詳細仕様はご相談下さい。 ຊΧλϩάʹࡌܝٴͼͷज़ʢιϑτΣΞΛΉʣɺʮ֎ ࠃҝସٴͼ֎ࠃқ๏ʯʹఆΊΔن՟ʢज़ΛΉʣʹ·ɻ ༌ग़Δ߹ʹڐՄऔಘదਖ਼ͳखଓΛऔΓԼɻ ҙ