產業自動化專案 報告

產業自動化專案報告

教師 : 余遠渠組員 : 連彥丞 (4A10H002) 潘佳宏 (4A112011)

半導體製造架構圖

半導體製造自動化技術

半導體生產中，潔淨度是一個影響生產良率相當關鍵的因素，而在不斷地提高半導體元件密度及縮小線距之要求趨勢下，潔淨度更顯重要。

這也使得半導體廠內之物料傳送系統，因潔淨度這個特殊需求，而有別於一般產業。由於晶圓面積及重量之增大，以及在當前工廠走向自動化、高生產效能之趨勢， 工作區間及整廠之晶圓輸送機械自動化，實為必然。

由於晶圓處理之特殊環境需求，設備自動化硬體所承受環境之要求在各自動化層級中可說是最嚴苛的。

自動物料搬運系統硬體立體示意圖

自動搬運車分類

生產設備自動化

灣區內自動化主要負責灣區內將放置有晶圓卡匣之一個生產設備與另一個生產設備之間，或在灣間內卡匣儲存站與設備間之運送。灣區內卡匣搬運工具可包含有機械人、無人搬運車(AGV) 、懸吊式載具 (OHT) 、軌道式搬運車 (RGV) 、人員搬運車 (PGV) 等幾種形式。灣區內自動化在 8 吋以下之晶圓製造廠中是最難達成，其所有的晶圓在灣區內主要皆以人工為主，其主要原因是在灣區內設備與設備之間相互之界面硬體及軟體並沒有遵守一定的標準，且有時為了爭取製造效能，設備的擺置並沒有標準化，因此要推動一般晶圓廠在這個層級的全面自動化就顯得格外困難。有鑑於此，為達成 300mm 晶圓製造廠CIM 自動化的目標，許多標準訂定工作是放在灣區內自動化及設備標準界面的制定上。

一 . 灣區內自動化

跨灣區自動化系統則負責將晶圓卡匣在不同製程灣區之間傳送。此系統主要包括有運輸系統及置於各製程灣區之倉儲站，運輸系統根據全廠物料管理系統之需求將晶圓卡匣從一個倉儲站搬運到另一個倉儲站，這個運輸系統一般是採取懸吊於天花板上有軌道形式的載具運送方式。有關載具的驅動方式主要有有輪式或無輪式，有輪式是較為傳統的方法，而無輪式則是採取磁浮驅動方式，為較先進的驅動方式。

二 . 跨灣區自動化

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參考資料

1. 半導體與平面顯示器製造自動化技術，游欽宏

2. 自動化概論，張充鑫、賴連康

3. http://www.youtube.com/watch?v=5vTnhEJ7-KQ

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